Occasion VARIAN 3180 #9278289 à vendre en France

VARIAN 3180
ID: 9278289
Taille de la plaquette: 10"
Sputtering system, 10".
VARIAN 3180 est un équipement de pulvérisation ultramoderne conçu pour le dépôt de couches minces. Il offre d'excellentes performances et contrôle pour une gamme d'applications de pulvérisation. Grâce à un système de commande de mouvement à trois axes avec un porte-substrat rotatif intégré à 6 stations, 3180 assure des vitesses de dépôt de film précises et une uniformité. L'unité dispose d'un grand pistolet de pulvérisation de 3 "(76 mm) qui est protégé contre les fumées et les particules par un bouclier de fumée. Jusqu'à quatre pistolets pulvérisateurs peuvent être connectés à la machine, ce qui permet de déposer une seule cible et une double cible pour augmenter le débit. VARIAN 3180 est équipé d'une interface Vacuum 10.1 pour la surveillance et le contrôle simultanés du processus de dépôt. Ce contrôleur permet aux utilisateurs de surveiller et de contrôler le taux de dépôt, le débit, la pression et la température. L'outil comprend un contrôle en temps réel de la température et de la fréquence pour un dépôt uniforme. Il supporte également jusqu'à sept gaz de procédé, dont l'argon, l'oxygène, l'azote, l'hydrogène et les halogènes. L'actif peut atteindre des pressions aussi faibles que 1 x 10-4 Torr, le plus haut atteignable par n'importe quel modèle de pulvérisation commerciale. Cela le rend adapté aux applications de pulvérisation sous vide ultra-haute telles que la photovoltaïque à couches minces et la microélectronique. L'équipement est compatible avec pratiquement n'importe quel matériau de substrat, et peut accueillir des substrats jusqu'à 8 "(200 mm) de diamètre. Le système dispose d'une unité de filament de graphite qui offre une excellente uniformité et de faibles taux d'érosion, même à des températures de fonctionnement élevées. La machine à filament de graphite réduit également la quantité d'électrons atteignant le substrat, ce qui la rend idéale pour les processus à haute température. Enfin, 3180 offre d'excellentes caractéristiques de sécurité, avec une conception facile d'accès pour l'entretien et la réparation. Il est également équipé d'un dispositif de sécurité de mouvement latéral qui empêche tout mouvement indésirable du pistolet à pistolet pendant que l'outil est en marche. En conclusion, VARIAN 3180 est un atout puissant et fiable idéal pour une large gamme d'applications. Il offre d'excellentes performances, précision et contrôle, avec des fonctionnalités telles qu'un contrôleur Vacuum 10.1, un contrôle de température et de fréquence en temps réel et un modèle de filament de graphite.
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