Occasion VARIAN 3190 #9105395 à vendre en France
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ID: 9105395
Taille de la plaquette: 4"
Sputtering system, 4"
Standard system
Includes:
RF Etch
RF10S power supply.
VARIAN 3190 est un équipement de pulvérisation conçu pour une variété de procédés de pulvérisation. Il est composé d'un système d'ordinateur central qui comprend une chambre, une unité de vide et une source de dépôt, ainsi qu'un panneau de commande de la serrure à 4 axes, un positionneur et une alimentation électrique. La chambre et la machine à vide de 3190 offrent un environnement optimal pour les analyses basées sur la pulvérisation. Il utilise une turbomachine et une pompe rotative à 7 orifices pour des niveaux de vide jusqu'à 2x10-4 Torr. Pour réaliser le vide souhaité, une ligne de vide et une vanne sont utilisées pour isoler la chambre des pompes. La source de dépôt est une source de dépôt planétaire qui permet de déposer du matériau sur plusieurs substrats simultanément. Il fonctionne en créant un champ tournant qui se traduit par la pulvérisation de quasi-monocouches sur les substrats. Cela se produit lorsqu'une combinaison d'une espèce gazeuse et d'une espèce noble est utilisée pour le dépôt de pulvérisateurs. Le panneau de commande 4 axes VARIAN 3190 permet de charger, décharger, déplacer et positionner plusieurs substrats à l'intérieur de la chambre. Il fonctionne en utilisant des actionneurs linéaires indépendants montés sur les trois axes, pour maintenir un contrôle précis de la position de chaque substrat. L'outil comprend également un positionneur et une alimentation électrique qui fournissent un contrôle et une stabilité supplémentaires au processus de dépôt. Le positionneur donne accès à l'actif à une plus grande gamme d'angles et permet de positionner les substrats à l'emplacement exact nécessaire pour terminer le travail. Enfin, l'alimentation offre différents niveaux de puissance jusqu'à 1000 watts. En résumé, 3190 est un modèle de pulvérisation puissant qui offre un niveau de précision et de contrôle exceptionnel pour une variété d'applications. Avec ses outils et fonctionnalités avancés, il est idéal pour une gamme de processus, et il est capable de fournir des résultats de pulvérisation de haute qualité.
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