Occasion VARIAN 3190 #9278288 à vendre en France

VARIAN 3190
ID: 9278288
Taille de la plaquette: 6"
Sputtering system, 6".
VARIAN 3190 est un équipement de pulvérisation magnétron multi-cibles de taille moyenne conçu pour des applications simples ou multi-cibles. 3190 est une plate-forme de pulvérisation hautement automatisée et fiable équipée d'une gamme de fonctionnalités innovantes pour augmenter l'efficacité opérationnelle. Le système de base VARIAN 3190 se compose d'une alimentation RF, d'une alimentation en courant continu, d'une unité à vide élevé et d'une chambre de pulvérisation à une ou plusieurs cibles. L'alimentation RF génère une puissance alternative à une fréquence de 13.56MHz avec une puissance de sortie maximale allant jusqu'à 10kW. L'alimentation en courant continu est capable d'alimenter jusqu'à 1.5kW avec une tension maximale de fonctionnement de -50/-120V. La machine à vide est équipée d'une pompe à vide, d'une gamme complète de détecteurs et d'un outil à vide à haut débit. La chambre de pulvérisation de 3190 est équipée d'un blindage radiofréquence (RF) de haute puissance, qui se compose d'une chambre à vide sphérique, d'un aimant intérieur et de lignes de champ assurant un transfert d'énergie optimal de la source d'énergie RF vers les cibles de pulvérisation. Les cibles elles-mêmes sont montées sur un support de cible spécifique, ce qui les empêche de se déplacer lors de la pulvérisation. Le support de cible de soutien fournit également un moyen facile de changer les cibles. VARIAN 3190 offre une gamme de fonctionnalités qui en font un atout idéal pour les applications de recherche, de développement et de production. L'alimentation RF offre une modulation programmable en largeur d'impulsion (PWM) pour un contrôle précis de la vitesse de dépôt par pulvérisation. L'alimentation en courant continu permet un contrôle directionnel du matériau pulvérisé, permettant une plus grande flexibilité. La source RF haute fréquence produit également des tailles de fonctionnalités aussi petites que 35 nanomètres. La chambre de pulvérisation de 3190 offre également un certain nombre de caractéristiques supplémentaires. Ceux-ci comprennent la capacité de contrôler avec précision la température cible et la capacité de contrôler avec précision la pression du gaz d'argon à l'intérieur de la chambre. La VARIAN 3190 offre également une gamme de caractéristiques de sécurité, y compris un verrouillage sous pression et un arrêt à faible débit, pour une plus grande sécurité et fiabilité. Modèle de pulvérisation 3190 offre à la fois flexibilité et précision pour les applications de dépôt de pulvérisation. Il est doté d'un équipement fiable et performant qui peut être facilement intégré dans une gamme d'applications de recherche, de développement et de production. VARIAN 3190 est un système de pulvérisation par pulvérisation fiable et rentable qui peut être utilisé dans un éventail de contextes scientifiques et industriels.
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