Occasion VARIAN 3290 STQ #9154643 à vendre en France
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Vendu
ID: 9154643
Taille de la plaquette: 6"
Sputtering system, 6"
Entity target configuration:
Process station #2: ALSICU
Process station cathode configuration:
Station #2: Quantum (Rotating magnet)
Heater configuration:
Heater type (All station): DC BIAS
Heater controller (All station): (1) Eurotherm 808, (2) Eurotherm 3508
Power supply configuration:
Outer PSU station #2: AE PINNACLE 12 KW
Outer PSU station #3: AE PINNACLE 12 KW
Outer PSU station #4: AE PINNACLE 12 KW
System vacuum configuration:
Compressor: Model 9600
8R Cryo pump: Yes
Water pump: No
Software configuration:
User's guide: ECS 3000
Version: 96.204.10U1
Floppy drive: 3.5"
Double cassette loading: Yes.
VARIAN 3290 STQ équipement de pulvérisation est un système de dépôt avancé qui offre des capacités de processus avancées. Il est conçu pour fournir des performances fiables, répétables et des films minces de haute qualité pour répondre aux exigences les plus strictes pour diverses applications. L'unité est équipée d'une chambre polyvalente robuste, d'une interface logicielle intuitive et flexible et d'une variété de cibles et de substrats de pulvérisation. La chambre de VARIAN 3290STQ est utilisée pour contrôler le processus de déposition, est conçu pour accomplir un haut niveau de repeatability et d'exactitude en fournissant la commande du processus supérieure et l'intégrité. La chambre dispose d'une configuration cloche, qui offre un excellent accès à la zone de dépôt et permet un chargement et un déchargement rapides du substrat. Un choix de sources de pulvérisation magnétron ou diode est disponible pour le dépôt de couches minces de divers métaux. En outre, une large gamme de tailles et de formes de substrat peut être utilisée avec la machine, y compris des plaquettes, des substrats et toute autre forme irrégulière. L'interface logicielle robuste de 3290 STQ a été conçue pour permettre un contrôle facile et intuitif du processus de dépôt. Tous les aspects de l'optimisation des outils, tels que les paramètres matériels, le réglage de puissance et d'autres paramètres liés au processus de dépôt, peuvent être configurés pour répondre à des exigences spécifiques. L'actif dispose également de scripts de recettes automatisés, ce qui simplifie le processus d'optimisation et assure des résultats cohérents. Des algorithmes uniques et adaptatifs de contrôle des processus sont également inclus dans le modèle pour fournir un niveau plus élevé de contrôle des processus et réduire la variabilité des processus. L'équipement offre également des capacités de ramassage, qui permettent une approche par étapes de dépôt de faible à haute puissance tout en surveillant le processus de réaction. 3290STQ système est livré avec une variété de cibles de pulvérisation et de substrats pour répondre aux exigences les plus exigeantes. VARIAN peut offrir un choix de cibles standard ou personnalisées de haute pureté, haute densité, avec ou sans garantie à vie. Les substrats comprennent des plaquettes de quartz, de céramique et de saphir, ainsi que d'autres substrats pour des applications nécessitant des caractéristiques de performance particulières. Dans l'ensemble, VARIAN 3290 STQ offre des systèmes de pulvérisation perfectionnés et des fonctionnalités, et fournit des performances fiables, répétables et des films minces de haute qualité. Son interface intuitive et sa large gamme de cibles et de substrats de pulvérisation permettent aux utilisateurs d'optimiser les processus tout en contrôlant leur variabilité.
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