Occasion VARIAN 3290 STQ #9293265 à vendre en France
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ID: 9293265
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2001
Sputtering system, 6"
Compressor 8500, 3 Phase, 208 V
CTI On-Board 8 Cryo pump
VARIAN TV-301 Molecular pump
VARIAN TV-81-T Molecular pump
(2) PTS03003UNIV Fast pumps
Water cooler: WW /50/S/DM
(2) VPW2870M5 DC Power supplies
VPW2870B5 DC Power supply
2001 vintage.
VARIAN 3290 STQ est un équipement de pulvérisation conçu pour le dépôt durable et fiable de couches minces et de multicouches. Ce système offre une excellente répétabilité et uniformité de processus pour répondre aux exigences strictes de contrôle avec un degré exceptionnel de stabilité. Il offre une unité d'alimentation pulsée avancée avec trois niveaux de puissance qui fournissent une gamme de tensions, de courants et de fréquences d'impulsions pour des performances de pulvérisation optimale. La machine est en outre équipée de deux ensembles cibles de grand volume et de deux pinces électrostatiques planaires pour une manipulation sûre et précise des échantillons. VARIAN 3290STQ utilise un outil de contrôle de processus avancé pour fournir des débits de pulvérisation précis et reproductibles sans nécessiter d'ajustements manuels. Cet atout de contrôle offre un logiciel intuitif pour contrôler les paramètres du processus, tels que la puissance cible et la polarisation du substrat. Les objectifs de grande taille permettent une pulvérisation efficace des couches jusqu'à 5 "de large et la capacité de varier continuellement la puissance pour les tendances et le contrôle de l'uniformité. Le modèle est également entièrement compatible avec un large éventail de matériaux, y compris les diélectriques et les conducteurs, et dispose d'un équipement de protection qui empêche la rétrocombustion et la fuite de cible. Le système de pulvérisation 3290 STQ comprend une variété de formes et de tailles de substrat et comprend également un mode de gravure in situ. Cette unité comprend des temps de chargement et de déchargement rapides du substrat, une propreté supérieure de la chambre et des temps de pompage courts. En outre, la machine comprend un outil automatisé de détection de vapeur d'eau pour fournir une structure de film propre et sans rupture et une source universelle de plasma à distance rotative qui peut être utilisée pour des applications de nettoyage et de gravure à base d'oxygène. L'actif dispose également d'un modèle à faible capacité de charge et est idéal pour les applications de médias magnétiques ou pour le dépôt de films haute performance. Dans l'ensemble, 3290STQ est un équipement de dépôt automatisé avancé conçu pour fournir des résultats précis et reproductibles en couches minces. Grâce à son logiciel intuitif de contrôle des processus et à des ensembles de cibles efficaces à grand volume, le système assure des performances de pulvérisation optimales et offre une propreté de chambre supérieure et des temps de chargement de substrats rapides. L'unité comprend en outre une source universelle de plasma à distance rotative pour les applications de nettoyage et de gravure à base d'oxygène, et une machine à faible capacité de charge adaptée à des applications plus exigeantes.
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