Occasion VARIAN 3290 #148077 à vendre en France
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Vendu
ID: 148077
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1998
Sputtering system, 6"
(3) Quantum targets
(1) Etch
NW3000 Control system:
Components
12.1" Touch monitor
NW3000 Software with Win7
Wafer process controller
Wafer loader controller
I/O Box
Cassette motor controller:
Components
Stepping motor & Sprocket
Motor Cable
1998 vintage.
VARIAN 3290 est un équipement de pulvérisation ultramoderne conçu pour produire des dépôts et analyses de matériaux de haute qualité. C'est un système à trois poches qui permet le dépôt de deux matériaux différents dans deux poches distinctes. Le processus de dépôt est contrôlé par un programme informatique créé par les ingénieurs informatiques VARIAN, qui permet un dépôt très précis de différents matériaux sur différents substrats. 3290 est capable de filer et de contenir jusqu'à 500 mm de substrats métalliques, ce qui le rend idéal pour les applications de recherche et développement (R-D). L'unité dispose d'un régulateur de pression et de vide très précis qui permet des vitesses de pulvérisation précises et une uniformité de substrat tout au long du processus de pulvérisation. En outre, il est également équipé d'une machine de distribution de gaz à cinq étages pour permettre l'addition exacte et fiable de gaz dans un environnement hautement contrôlé. Ceci permet de surveiller et de contrôler avec précision les températures de dépôt pour des performances supérieures. L'outil à trois poches a plusieurs caractéristiques conçues pour assurer le plus haut niveau de qualité et d'homogénéité des matériaux. L'utilisation de la technologie de pulvérisation magnétron permet un dépôt de matériau extrêmement précis, que ce soit pour des couches multicouches nécessitant une forte adhérence, ou pour une épaisseur de film exacte dans différents substrats. En outre, l'actif est en mesure d'utiliser trois environnements gazeux distincts, ce qui permet d'accélérer les taux de dépôt, d'accroître l'efficacité des collimateurs, de réduire la puissance de pulvérisation et d'accroître la pureté des matériaux. L'intégration d'un modèle de contrôle optique avancé permet en outre à VARIAN 3290 de s'assurer que l'épaisseur et la répartition exactes du matériau sont atteintes. Un appareil photo à quatre cadres en option est également disponible, ce qui est idéal pour mesurer les petits détails et identifier les couches de matériaux super minces. Avec sa capacité de contrôle de processus multi-zones, le système est également capable d'obtenir une précision de pas fine et une excellente uniformité de dépôt. 3290 est conçu pour être une unité fiable et durable qui offre des performances supérieures dans chaque application. C'est une machine facile à utiliser et à entretenir, car elle comprend des diagnostics de maintenance et des outils d'étalonnage, tels que la cartographie de la mémoire, la surveillance en temps réel et des lectures précises à l'écran. L'outil est également livré avec un manuel d'utilisation complet, qui offre des instructions détaillées pour les opérateurs.
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