Occasion VARIAN 3290 #9043983 à vendre en France

VARIAN 3290 est un équipement de pulvérisation automatique fabriqué par VARIAN Technologies Inc. C'est un système de revêtement à haute pression et basse température pour le dépôt précis et efficace de couches minces. Cette unité unique est capable de produire des films couche par couche de haute qualité, reproductibles, avec une composition précise et une épaisseur uniforme. La machine est composée d'une cible de pulvérisation automatique, d'un gestionnaire de plaquettes de substrat, d'une alimentation RF/DC, d'un outil à vide et d'un panneau à gaz. La cible de pulvérisation est une structure hétéroépitaxiale. Le matériau cible (généralement des métaux, des semi-conducteurs ou des supraconducteurs) est pulvérisé sur le substrat (généralement une plaquette de silicium) dans un environnement bien contrôlé avec un vide propre et un gaz porteur de haute pureté. La pulvérisation est un procédé avancé de dépôt par film dans lequel une couche mince de métal est formée par bombardement d'une surface cible avec un flux de particules thermioniques à grande vitesse. L'alimentation RF/DC offre des niveaux de puissance en courant continu et RF élevés, associés à un excellent contrôle et stabilité. Il permet un contrôle précis de la température du substrat pour le dépôt uniforme de couches minces. Un panneau de gaz est relié à l'actif pour introduire et contrôler le gaz porteur pendant le processus de pulvérisation. Le modèle 3290 comporte également une installation permettant de produire un environnement plasma en introduisant de l'énergie RF dans la chambre de dépôt. Les paramètres de fonctionnement typiques de cet équipement sont la haute température de la chambre jusqu'à 1000 ° C et la basse tension jusqu'à 1000 Volts, permettant le dépôt de couches épaisses, mais un contrôle précis du dépôt de couches minces. Le système de vide de VARIAN 3290 est constitué d'une chambre à vide reliée à une pompe. La pression dans la chambre est contrôlée à un niveau d'humidité inférieur à 10-4 pour maintenir la pureté de l'environnement pour une épaisseur de film uniforme et de qualité. 3290 est une unité fiable et efficace pour produire des couches de couches minces de haute qualité avec une composition précise et une épaisseur de dépôt uniforme. La fonction de pulvérisation automatique assure des résultats cohérents avec une sortie répétable, ce qui en fait un choix idéal pour une gamme d'applications de couches minces. Les caractéristiques avancées de cette machine en font un excellent choix pour la recherche et l'utilisation industrielle.