Occasion VARIAN 3290 #9075491 à vendre en France

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ID: 9075491
Style Vintage: 6"
Sputtering system, 6" (3) Target assemblies: Conmag II Station 1: Heated etch with AE RF-10 power supplies Station 2: Heater table with conmag II Station 3: Heater table with conmag II Station 4: Heater table with conmag II (4) Temperature controllers: EUROTHERM 818 Controller: FLUKE 1722A modified with flash drive and floppy drive Multimeter: AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 3438A Ferrofluidic transfer plate feedthru grade (3) Ferrofluidic shutter feedtrhu upgrades Ion gauge controller: VARIAN 880 Remote power supply panel, digital readout Etch matching unit controller with digital readout meters RF RWD & REFL Remote meter panel Cryo pump: CTI CT-8 with SC compressor Does not include dry scroll mechanical pump Power supplies: Target 1: inner 2.5kW, outer 12kW Target 2: inner 2.5kW, outer 12kW Target 3: inner 2.5kW, outer 12kW 1989 vintage.
VARIAN 3290 est un équipement de pointe capable de fournir des procédés de pulvérisation de haute précision sur des substrats jusqu'à 300mm de diamètre. 3290 est la solution ultime pour les applications de recherche et de production nécessitant un contrôle précis du processus de dépôt. Il combine les avantages d'une grande vitesse, d'une excellente utilisation des cibles, de la simplicité de fonctionnement, de la flexibilité et de la capacité d'évaporation. Le système VARIAN 3290 est entièrement automatisé, permettant un dépôt fiable et des résultats reproductibles. Il offre également une gamme complète de substrats jusqu'à 300mm de diamètre et est compatible avec les cibles de pulvérisation standard, y compris les oxydes et les métaux. Son unité de haute précision permet un contrôle plus fin du processus de dépôt, donnant aux utilisateurs la possibilité de créer des architectures complexes multicouches avec différents matériaux et épaisseurs. La machine 3290 utilise un procédé de pulvérisation magnétron pour déposer les revêtements de matériaux. L'outil est conçu avec un pistolet à pulvérisation à simple filament à cathode polarisée, alimenté par une alimentation RF. Ce canon utilise un champ magnétique rotatif pour contrôler les arcs générés lors de la pulvérisation et obtient une efficacité de processus élevée. L'utilisation d'une tension de polarisation RF peut permettre des taux de dépôt plus élevés. L'actif est entièrement intégré avec un modèle d'inertage des gaz qui assure un fonctionnement propre et sûr. Il dispose d'une chambre à vide haute intégrée qui contrôle le débit d'air et la pureté, ainsi que d'une option pumpout automatique pour une qualité de film garantie. De plus, un équipement de recirculation d'eau aide à maintenir une température optimale pendant les processus, protégeant contre la surchauffe et les composants potentiellement dommageables. VARIAN 3290 dispose d'un système de contrôle intuitif qui fournit d'excellentes lectures de données de processus et de contrôle de processus. Cela comprend une surveillance manuelle et automatique des dépôts, ainsi que des alarmes et des mesures de protection qui contribuent à assurer la sécurité des utilisateurs. De plus, l'unité permet de réaliser simultanément plusieurs architectures de films, tout en fournissant des informations détaillées sur chaque procédé. Dans l'ensemble, 3290 est un moyen fiable de produire des résultats exacts et répétables de dépôt de film. Ses capacités avancées en ont fait une option populaire pour les applications de recherche et de production, avec ses options de contrôle de haute précision et d'architecture flexible. C'est la solution parfaite pour tout procédé de pulvérisation.
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