Occasion VARIAN 3290 #9094690 à vendre en France

VARIAN 3290 est un équipement de pulvérisation entièrement automatisé compact développé par VARIAN Semiconductor Equipment Associates, Inc. 3290 est capable de pulvériser des substrats avec une large gamme de matériaux et peut être utilisé pour déposer des métaux, des oxydes, des alliages et d'autres composés. Le système offre des configurations de pulvérisation versatiles qui peuvent être adaptées pour répondre à diverses exigences de performance de dépôt. VARIAN 3290 est une unité à chambre unique avec un loadlock intégré. L'intérieur de la chambre est construit en acier inoxydable et est plombé pour jusqu'à quatre sources de pulvérisation distinctes. La chambre comprend une machine e-match pour contrôler le débit de gaz de procédé. L'outil comporte également des caractéristiques telles qu'un nettoyant de substrat pré-pulvérisation et un carrousel de substrat tournant piloté par robot. 3290 est équipé d'une gamme de fonctions de contrôle et de surveillance avancées. Ces caractéristiques permettent à l'utilisateur d'ajuster facilement des paramètres de processus tels que pression, pression de pulvérisation, temps de traitement, puissance, tension, courant et distance entre le substrat et la source de pulvérisation. En outre, une interface informatique VES2-compatible est disponible pour contrôler à distance l'actif. Les fonctions de surveillance de VARIAN 3290 peuvent être utilisées pour garantir des résultats de qualité à chaque étape du processus. Le modèle comprend un compteur de particules intégré, un transformateur différentiel variable linéaire (LVDT), une microbalance à cristaux de quartz (QCM) et des ports de surveillance optique. Le QCM en particulier peut être utilisé pour mesurer les isothermes d'adsorption-désorption et l'évaluation quantitative de la qualité des surfaces. 3290 offre une large gamme d'applications de pulvérisation. Il est idéal pour la pulvérisation à haut débit, comme les cellules solaires de revêtement de pulvérisation, les HFET, les FET, les MEMS, les nanowires, les nanoparticules et les transistors à couches minces. L'équipement permet également le dépôt par pulvérisation de matériaux isolants, conducteurs et semi-conducteurs. VARIAN 3290 est un système efficace et polyvalent de pulvérisation. Avec ses fonctions de contrôle et de surveillance avancées, il est l'unité idéale pour obtenir des résultats de revêtement de haute qualité. Que les utilisateurs aient besoin de déposer du métal, des oxydes, des alliages ou d'autres composés - 3290 offre la solution de pulvérisation parfaite.