Occasion VARIAN 3290 #9139677 à vendre en France

VARIAN 3290
ID: 9139677
Taille de la plaquette: 6"
Sputtering system, 6".
VARIAN 3290 est un instrument unique utilisé dans la fabrication de dépôts de couches minces métalliques et diélectriques. Il est spécialement conçu pour la production de films minces métalliques ou diélectriques de haute qualité et de dispositifs MOS planaires à haute température. 3290 fournit une pulvérisation à haut débit de métaux et de diélectriques d'une à quatre cibles, avec une plage de puissance allant jusqu'à 5kW. Ce système est capable d'offrir une large gamme de fonds de pulvérisation en assurant le contrôle in situ des paramètres du bain. La colonne vertébrale de VARIAN 3290 est son unité de génération de vide intégrée, qui fournit un débit de vide ultra-rapide avec une plage de fonctionnement jusqu'à 1 x 10-10 Torr. Cette machine dispose également d'une chambre de dépôt multiforme, qui utilise l'ionisation circulaire magnétique haute performance (HPMCI) pour assurer l'uniformité du substrat. Il est également alimenté par un faible coût d'exploitation VARIAN DC Sputter Source, qui réduit la consommation d'énergie tout en maintenant des temps de dépôt élevés. En plus de ses caractéristiques de base, la 3290 offre une large gamme d'équipements optionnels. Cela inclut une gamme d'environnements de détection, qui permettent de mesurer directement la température, la pression et les caractéristiques électriques du matériau déposé. Cet outil dispose également d'un actif de mesure de film dynamique, qui permet de contrôler avec précision la caractérisation de divers matériaux lors du dépôt. Le modèle dispose également d'un équipement de serveur très avancé, qui permet la télécommande de l'ensemble du processus de pulvérisation. Il est capable de contrôler jusqu'à 8 cibles en même temps, et fournit des capacités de collecte de données automatisées. Il dispose également d'une fonction sophistiquée de détection de fuite sous vide, qui permet un processus de détection de fuite rapide et facile. VARIAN 3290 est conçu pour une grande durabilité et produit des films minces de haute qualité avec une épaisseur maximale de 2µm. Il est soutenu par une gamme d'options de service à la clientèle, y compris la maintenance et la validation sur place. Le système est capable de produire des résultats reproductibles sans avoir besoin de calibrages ou de modifications fréquents, ce qui en fait un choix idéal pour la production de matériaux performants.
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