Occasion VARIAN 3290 #9154647 à vendre en France
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Vendu
ID: 9154647
Taille de la plaquette: 6"
Sputtering system, 6"
Entity target configuration:
Process station #1: HARD ETCH
Process station #2: ALSI
Process station #3: ALSI
Process station #4: ALSI
Process station cathode configuration:
Station #1: Etch
Station #2: Con-Mag 2
Station #3: Con-Mag 2
Station #4: Con-Mag 2
Heater configuration:
Heater type (All Station): DC BIAS
Heater controller(AII Station): (3) Eurotherm 808, (1) Eurotherm 3508
Power supply configuration:
RF Gen. station #1: RF-10S (1KW max)
Inner PSU station #2: 2.5 KW
Outer PSU station #2: AE PINNACLE 12 KW
Inner PSU station #3: 2.5 KW
Outer PSU station #3: AE PINNACLE 12 KW
Inner PSU station #4: 2.5 KW
Outer PSU station #4: AE PINNACLE 12 KW
System vacuum configuration:
Compressor: Model 8150
8R Cryo pump: Yes
Water pump: No
Software configuration:
User's guide: ECS 3000
Version: 96.204.10U1
Floppy drive: 3.5"
Double cassette loading: Yes.
VARIAN 3290 est un équipement de pulvérisation à courant continu de haute puissance fabriqué par VARIAN, un important fournisseur d'équipements scientifiques et de laboratoire. Le système est conçu pour créer des couches de matériaux minces sur des substrats tels que des disques, des plaquettes et des tubes. Il permet le dépôt précis de couches minces pour diverses applications, allant des dispositifs semi-conducteurs aux produits de décoration. L'unité comprend une variété d'accessoires pour pulvériser divers matériaux, y compris l'acier inoxydable, l'aluminium, d'autres métaux, la céramique et les films d'oxyde. 3290 dispose de la technologie de pulvérisation à courant continu (DC), une technique de dépôt à l'échelle nanométrique. La technique utilise un environnement contrôlé à basse pression à l'intérieur d'une chambre à vide, permettant le bombardement d'une cible de pulvérisation par des électrons pour créer un film mince sur le substrat. Ce bombardement conduit à l'éjection d'atomes de couches minces du matériau cible, qui se déposent ensuite sur le substrat. Cette technologie est très précise, permettant le dépôt de couches uniformes de diverses substances sur le matériau du substrat. VARIAN 3290 a une puissance maximale de 5.4kW et trois cathodes indépendantes. Cela permet le dépôt rapide de structures d'empilement multicouches, une caractéristique précieuse pour des applications complexes à plusieurs couches. La plage de tension peut être ajustée de 0v à 5kV pour ajuster le processus de pulvérisation. La machine dispose également de systèmes de refroidissement actifs, qui permettent à l'utilisateur d'ajuster la puissance fournie même avec la puissance élevée, évitant la surchauffe lors d'une utilisation prolongée. De plus, l'outil dispose d'un outil de détection automatique de pression qui surveille et ajuste constamment la pression de la chambre. 3290 est un modèle avancé qui fournit une gamme de caractéristiques non trouvées sur d'autres systèmes, et permet le dépôt précis de couches minces et de structures de couches uniformes. Allié à sa construction robuste et à ses composants durables, VARIAN 3290 offre une excellente solution pour une large gamme de projets de dépôt en couches minces.
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