Occasion VARIAN 3290 #9154648 à vendre en France
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Vendu
ID: 9154648
Taille de la plaquette: 6"
Sputtering system, 6"
Entity target configuration:
Process station #1: HARD ETCH
Process station #2: ALSI
Process station #3: ALSI
Process station #4: ALSI
Process station cathode configuration:
Station #1: Etch
Station #2: Con-Mag 2
Station #3: Con-Mag 2
Station #4: Con-Mag 2
Heater configuration:
Heater type (All Station): DC BIAS
Heater controller (All Station): (3) Eurotherm 808, (1) Eurotherm 3508
Power supply configuration:
RF Gen. station #1: RF-10S (1KW max)
Inner PSU station #2: 2.5 KW
Outer PSU station #2: AE PINNACLE 12 KW
Inner PSU station #3: 2.5 KW
Outer PSU station #3: AE PINNACLE 12 KW
Inner PSU station #4: 2.5 KW
Outer PSU station #4: AE PINNACLE 12 KW
System vacuum configuration:
Compressor: Model 8150
8R Cryo pump: Yes
Water pump: No
Software configuration:
User's guide: ECS 3000
Version: 96.204.10U1
Floppy drive: 3.5"
Double cassette loading: Yes.
VARIAN 3290 est un outil avancé de dépôt multi-composants utilisé pour créer des films minces. Au cœur du système se trouve le composant de pulvérisation magnétron, qui utilise une cathode magnétiquement blindée avec un agencement concentrique de bobines. Ceci crée un fort champ magnétique près de la surface de la cathode qui dirige l'émission d'électrons vers la cible de pulvérisation, permettant un processus de dépôt très uniforme, souvent à haut rendement. L'unité est équipée de plusieurs composants et caractéristiques qui permettent le dépôt de différentes substances. Par exemple, la forme de la cathode peut être ajustée avec une plate-forme de configuration réglable pour créer un rayon de dépôt optimisé. En outre, le matériau cible de pulvérisation peut être programmé pour être optimisé pour une efficacité maximale de collage et même adapté aux besoins spécifiques d'application. La 3290 est équipée de trois composants principaux pour le dépôt rapide de couches minces. Le premier est un pistolet à double magnétron, qui fournit deux zones de dépôt très efficaces. La seconde est une bobine d'induction, qui empêche l'arc et est reliée à une alimentation pour chauffer la cible de pulvérisation avant pulvérisation. Enfin, le troisième composant est un mécanisme de criblage de chambre pour contrôler les ions à l'intérieur de la chambre, améliorant la vitesse de dépôt. VARIAN 3290 utilise une interface ordinateur-pilote pour le contrôle facile et la personnalisation de la machine. Cela permet un contrôle précis de la pression, de la fréquence, de la tension et de la température, permettant aux utilisateurs d'optimiser le processus de dépôt. En outre, le sous-système de diagnostic avancé peut détecter certains dysfonctionnements électriques ou mécaniques et alerter immédiatement l'utilisateur. Dans l'ensemble, 3290 est un puissant outil de pulvérisation polyvalent conçu pour déposer des films minces à haut rendement. Sa plate-forme de configuration variable, son canon à double magnétron, son mécanisme de criblage unique et son interface informatique-pilote précise en font un choix idéal pour diverses applications de pulvérisation.
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