Occasion VARIAN 3290 #9161097 à vendre en France

VARIAN 3290 est un équipement de pulvérisation qui utilise des molécules de gaz ionisé, principalement des gaz inertes tels que l'argon, pour bombarder la surface d'un substrat afin de déposer des couches minces de matière. Ce procédé, couramment utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, est connu sous le nom de pulvérisation. La 3290 se compose de quatre composants principaux : la chambre de pulvérisation, l'alimentation, le contrôleur et la serrure. La chambre de pulvérisation est le grand récipient cylindrique dans lequel se déroule le procédé de pulvérisation. A l'intérieur se trouve le substrat, typiquement une plaquette de silicium, qui est monté dans un mandrin à vide. La chambre est remplie de molécules de gaz inerte, le plus souvent de l'argon, et un potentiel haute tension est placé à travers le substrat et les parois de la chambre. Les molécules de gaz sont ensuite ionisées par le champ électrique et accélérées vers le substrat, où elles bombardent et délogent le matériau de la surface. Ce matériau se dépose alors sur le substrat en créant un film mince. L'alimentation fournit l'énergie pour le processus de pulvérisation. Il est constitué d'une source d'énergie haute tension, typiquement de plusieurs kilovolts, ainsi que d'un ampèremètre et d'un voltmètre qui sont utilisés pour contrôler avec précision les niveaux de puissance nécessaires au procédé de pulvérisation. Le contrôleur est le « cerveau » du système, contrôlant les différentes fonctions du processus de pulvérisation. Il s'agit typiquement d'un ordinateur ou d'une carte de commande spécialisée qui envoie des commandes à l'alimentation pour régler les niveaux de tension, et communique avec le contrôleur de chambre à vide pour réguler les pressions, les gaz et les températures à l'intérieur de la chambre de pulvérisation. La serrure de charge, comme son nom l'indique, est utilisée pour « verrouiller » le substrat à la chambre à vide, en veillant à ce qu'il soit solidement monté en place pendant le processus de pulvérisation. VARIAN 3290 dispose d'une unité de verrouillage de charge très avancée qui est conçue pour augmenter rapidement la pression à l'intérieur de la chambre tout en minimisant les chocs thermiques sur le substrat et en maintenant un environnement de vide constant. En conclusion, 3290 est une machine de pulvérisation avancée conçue pour déposer des matériaux en couches minces sur des substrats avec une grande précision et fiabilité. Il utilise un potentiel de haute tension pour ioniser et accélérer les molécules de gaz inerte vers une surface cible, en déposant du matériau de manière hautement contrôlée. Des caractéristiques avancées telles que son alimentation électrique de haute précision et son outil de verrouillage de charge garantissent que le processus de pulvérisation est effectué avec un choc thermique minimal et un dépôt constant.