Occasion VARIAN 3290 #9174285 à vendre en France

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VARIAN 3290
Vendu
ID: 9174285
Taille de la plaquette: 5"
Sputtering system, 5".
VARIAN 3290 est un équipement de pulvérisation haute performance conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et le traitement de couches minces. La 3290 utilise une série de procédés classiques de pulvérisation par pulvérisation, tels que les dépôts thermiques, réactifs et assistés par ions, pour déposer des couches minces de divers systèmes de matériaux, y compris les alliages Al, Au, Cr, Ti, Cu, W, Ta, Nb et NiCr. Le système est également capable de métaux, de diélectriques et de films semi-conducteurs. L'unité VARIAN 3290 est la solution ultime pour la production d'architectures avancées en couches minces. Il est spécifiquement conçu pour déposer des couches minces à partir d'une plate-forme unique, permettant aux clients d'atteindre des débits élevés et d'optimiser les performances des couches pour leurs conceptions d'appareils. La machine utilise un ensemble de contrôle de la pression et de la température à jour qui assure un environnement de pulvérisation précis pour un contrôle précis de l'épaisseur et la définition de la structure. L'outil est capable de faire varier les gaz de pulvérisation pour répondre aux besoins spécifiques de la conception et des matériaux déposés. Il permet également un contrôle précis de la température et de la pression pour répondre aux exigences de dépôt pour les films multicouches. L'actif 3290 est idéal pour les applications semi-conductrices en raison de sa technologie de contrôle de processus de précision (PPC) et de sa capacité à commuter facilement entre les paramètres de processus, assurant un processus rapide et fiable avec un contrôle précis des pressions de réaction, des températures et des matériaux de base. En outre, sa chambre à vide diamantifère est parfaite pour une utilisation à long terme et offre une protection supplémentaire contre la contamination par réaction. VARIAN 3290 dispose également d'une vaste gamme de processus automatisés faisant partie intégrante de sa conception, y compris la gestion des échantillons, le contrôle des recettes, la manipulation des plaquettes et l'utilisation des sources. La combinaison de ces processus, ainsi que des modèles de processus avancés qui peuvent être personnalisés selon les besoins du client, fournissent la base pour des débits de couches minces de meilleure qualité et le développement accéléré de l'appareil. Dans l'ensemble, 3290 est un modèle puissant et polyvalent de pulvérisation, fournissant un contrôle de processus insitu avancé et une gamme étendue de capacités de processus. Sa conception robuste garantit un équipement fiable et des délais de traitement rapides permettent d'améliorer les rendements de production.
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