Occasion VARIAN 3290 #9226265 à vendre en France
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ID: 9226265
Taille de la plaquette: 5"
Style Vintage: 1989
Sputtering system, 5"
1989 vintage.
VARIAN 3290 est un équipement de pulvérisation à vide sec, électrostatique et à haute pression conçu pour permettre le dépôt de couches minces. Le système propose trois techniques de dépôt - courant continu (DC), courant continu modulé en impulsions (PMDC) et radiofréquence (RF) - en une seule unité autonome. L'unité fonctionne en créant un plasma du matériau de revêtement et du gaz Ar à l'intérieur de la chambre à vide, qui est ensuite accéléré vers le substrat. Le matériau de revêtement est typiquement un alliage - comme le titane, le chrome et l'aluminium -, bien que d'autres métaux et non-métaux puissent être utilisés. Lors de la pulvérisation, des ions chargés positivement dans le plasma bombardent et érodent le matériau cible, certaines particules émises étant ensuite intégrées dans un revêtement sur le substrat. La machine 3290 se compose d'une unité de pompage, d'une alimentation électrique, d'un contrôleur, de cibles multiples, d'un outil RF et d'un équipement de surveillance de la température et du vide. Il a deux ou quatre magnétrons selon l'application, chacun avec une puissance allant jusqu'à 100 watts. Les magnétrons sont couplés à l'alimentation électrique pour fournir la tension et le courant nécessaires au dépôt par pulvérisation. Les contrôleurs offrent des niveaux de puissance réglables, la sélection de la cible et le contrôle de la température du substrat. L'actif dispose également de plusieurs caractéristiques de sécurité conçues pour prévenir les dysfonctionnements du modèle. La tension peut être limitée à un maximum de 5 kV, et la puissance est surveillée à intervalles fixes pour éviter la surchauffe. L'équipement est également équipé d'une détente automatique pour permettre un fonctionnement sûr en cas d'accumulation excessive de gaz. VARIAN 3290 est disponible en plusieurs tailles pour accueillir une variété de substrats jusqu'à 500 mm de diamètre et pesant jusqu'à 50 kg. Il est également convivial et peut être programmé pour permettre la pulvérisation à certains moments pour les longs trajets. La portabilité du système et de ses composants le rend idéal pour les applications sur le terrain. Dans l'ensemble, 3290 est une unité de pulvérisation haute performance qui est fiable et facile à utiliser. Il permet le remplissage ou le revêtement d'une large gamme de substrats avec divers matériaux, et ses caractéristiques de sécurité avancées permettent un fonctionnement fiable et sûr.
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