Occasion VARIAN 3290 #9236342 à vendre en France
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VARIAN 3290 est un équipement de pulvérisation perfectionné fabriqué par VARIAN Semiconductor Equipment Associates, Inc. Le système est conçu pour diverses applications, y compris la création de films minces, la production de dispositifs semi-conducteurs composés et la microfabrication. 3290 offre un certain nombre de caractéristiques uniques, telles que sa technologie brevetée de pulvérisation magnétron, qui augmente les taux de pulvérisation et produit des couches de films minces avec une uniformité et une adhésion améliorées. L'unité dispose également d'une capacité de gravure plasma intégrée, avec des variables de processus programmables et la détection du point final, pour augmenter encore le contrôle du processus. Ce procédé de gravure plasma peut être utilisé pour produire des tranchées étroites et des caractéristiques fines. De plus, le VARIAN 3290 présente un taux de dépôt élevé, grâce à sa large gamme d'alimentations. Il peut accueillir une large gamme de tailles de chambre, de 6 pouces jusqu'à 14 pouces, avec jusqu'à quatre sources de pulvérisation. Avec la fonction inclinaison réglable, les sources de pulvérisation peuvent être dirigées précisément vers le substrat. La machine a également une capacité de chauffage rapide du substrat, avec un thermocouple intégré et un contrôle PID, permettant un contrôle de la température jusqu'à 25 ° C 3290 dispose également d'un outil informatique avancé de contrôle des processus, qui aide à simplifier le développement des processus et l'optimisation des rendements en permettant à l'opérateur d'accéder en temps réel aux données de processus et à l'analyse des tendances. Un interféromètre laser numérique est également intégré, pour mesurer et surveiller l'alignement et l'uniformité de l'épaisseur brute, tout en fournissant un contrôle précis de l'épaisseur du point d'extrémité et des épaisseurs de couche à haute précision au niveau du nanomètre. Le modèle est également équipé d'une large gamme de caractéristiques de sécurité. Il dispose d'une authentification utilisateur à deux niveaux, d'une surveillance des intrus, d'un équipement d'alarme incendie, d'une protection contre la surcharge thermique et d'une protection ESD/EMI. De plus, le système VARIAN 3290 a été conçu pour répondre aux normes de la FDA afin d'assurer un environnement de travail exceptionnellement sûr et productif. En résumé, 3290 pulvérisateurs est une solution avancée conçue avec une large gamme de fonctionnalités pour aider à améliorer les capacités de production et augmenter le contrôle des processus. Son procédé novateur de pulvérisation magnétron, sa capacité de gravure plasma intégrée, ses différentes tailles de chambre, sa fonction d'inclinaison réglable, son chauffage rapide des substrats, sa machine de contrôle de processus avancée et son interféromètre laser en font un choix idéal pour une grande variété d'applications.
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