Occasion VARIAN 3290 #9236362 à vendre en France
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VARIAN 3290 est un équipement de pulvérisation industrielle utilisé pour le dépôt de couches minces sur différents substrats. Ce système peut déposer une gamme de matériaux à couches minces, y compris des métaux, des oxydes, des semi-conducteurs et des isolants. Il est équipé d'une grande cible de pulvérisation fermée de différentes tailles et formes, qui est typiquement constituée du matériau à déposer. Il dispose d'une cathode de pulvérisation magnétron équipée soit d'une capacité de pulvérisation à une ou plusieurs cibles et d'une capacité de mouvement planétaire pour filer et indexer la technique de pulvérisation cible. La cathode de pulvérisation est composée d'une chambre à vide, d'un substrat cible et d'une source magnétron pour ioniser le gaz. La chambre à vide permet d'introduire le gaz dans la chambre et le substrat cible sert de surface supérieure pour le procédé de pulvérisation. La source magnétron crée un vide élevé à l'intérieur de la chambre assurant que les molécules de gaz et les ions négatifs puissent circuler sans entrave à travers la chambre. Cette unité de pulvérisation utilise également une machine à ultra-haut vide pour des performances optimales et pour éviter la contamination. L'outil comporte un manipulateur à trois axes pour positionner le porte-substrat pour pulvérisation qui peut être configuré pour permettre une couverture uniforme, une grande vitesse, un mouvement circulaire ou décalé. Il a également un rapport avant-arrière programmable pour contrôler l'érosion des pulvérisateurs et le contrôle des fonctionnalités. La table programmable variable fournit jusqu'à trois zones de contrôle prédéfinies, permettant aux utilisateurs de personnaliser le matériau du motif de dépôt du substrat et des pulvérisateurs. Une source de plasma couplée inductivement est également incorporée dans l'actif pour une polyvalence supplémentaire, permettant une précision. Pour assurer l'uniformité, 3290 utilise un moniteur tridimensionnel de granulométrie, contrôlant la forme et la taille des particules. En outre, le modèle utilise des détecteurs d'épaisseur de cristaux de quartz pour contrôler avec précision les dépôts et la spectroscopie optique d'émission et la spectrométrie de masse pour le contrôle continu des processus. Dans l'ensemble, VARIAN 3290 est un équipement de pointe avec des capacités de haute performance pour pulvériser avec précision des films minces sur une variété de substrats. Ceci fournit aux clients une solution efficace et efficiente pour le dépôt de substrat, permettant une précision et un contrôle maximum.
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