Occasion VARIAN 3290 #9236365 à vendre en France

VARIAN 3290 est un équipement de pulvérisation de pointe conçu pour répondre aux besoins des utilisateurs de semi-conducteurs et de couches minces. Le système est capable de déposer des couches minces de divers matériaux, tels que des métaux, des diélectriques, du silicium et des semi-conducteurs, en utilisant soit des techniques de dépôt par pulvérisation à basse pression, soit des techniques de dépôt par pulvérisation par faisceau d'ions. Il existe également une unité d'accompagnement, VARIAN 3300, qui est conçue pour les procédés à ultra-haut vide et permet des taux de dépôt plus rapides. 3290 dispose d'un design modulaire, permettant de le reconfigurer pour répondre à une variété de besoins. Il peut être facilement configuré avec diverses configurations de magnétron tournant et basculant, permettant le dépôt de films d'oxyde, de nitrure et de métal sur différents substrats. Les électroaimants puissants à l'intérieur de la machine permettent des taux de dépôt élevés et uniformes. VARIAN 3290 est également équipé de deux types différents d'alimentation en courant continu (courant continu) à base de cathode : l'alimentation sèche standard et l'alimentation humide plus puissante. L'alimentation en énergie sèche offre des caractéristiques de dépôt supérieures, car elle est très efficace et permet des impulsions de courant étroites. L'alimentation humide est adaptée aux procédés qui nécessitent un flux d'ionisation plus élevé pour des dépôts améliorés. L'outil dispose également d'un étage entièrement personnalisable à température contrôlée, permettant un chauffage précis du substrat lors des processus opérationnels. L'étage peut accueillir différents profils de température pour assurer un dépôt optimal de couches minces sur le substrat. En outre, 3290 peuvent accueillir une grande variété de substrats, des nanomatériaux complexes aux substrats microélectroniques de grande surface. En outre, l'actif est équipé de deux serrures de charge distinctes pour des processus efficaces de transfert et de nettoyage des substrats. Les serrures sont conçues avec un modèle de refroidissement avancé, qui assure le contrôle précis des températures dans tout l'équipement. Ce système de refroidissement permet également de protéger les composants sensibles de l'unité contre les contraintes mécaniques. Dans l'ensemble, VARIAN 3290 est une machine à pulvériser hautement personnalisable, conçue pour le dépôt précis de couches minces sur une variété de matériaux et de substrats. En même temps, sa conception modulaire et ses composants avancés permettent un maximum d'efficacité et de contrôle pendant les opérations. L'outil est idéal pour une large gamme d'applications de semi-conducteurs et de couches minces.