Occasion VARIAN 3290 #9236371 à vendre en France

VARIAN 3290 est un équipement de pulvérisation de gaz noble utilisé pour le dépôt de couches minces utilisé dans les applications de dépôt de couches minces les plus exigeantes. Il se compose typiquement d'une source de pulvérisation magnétron à courant continu ou pulsé, d'une plate-forme support de substrat unique qui permet un accouplement répétable entre le substrat et la source, et d'un système de pompage à vide efficace avec instrumentation et emboîtement. L'ensemble est typiquement constitué d'une grande chambre cylindrique munie d'une cible de pulvérisation montée sur le dessus qui est disposée autour d'une plate-forme support de substrat. Cette plate-forme peut monter et descendre pour correspondre précisément à la distance cible-substrat de manière très répétable et selon l'application permet de déposer jusqu'à 3 substrats à la fois. La chambre est conçue pour fonctionner à ultra-haute pression de vide (UHV) de 2 x 10 ^ -9 Torr, ou mieux. Une pompe turbomoléculaire (TMP) est utilisée pour générer les conditions UHV. La source de pulvérisation est soit un magnétron continu, soit un magnétron pulsé qui permet un excellent contrôle de la vitesse de dépôt et de la composition (par exemple des films d'oxyde Ti/Al). La cible à courant continu ou pulsé est équipée de boucliers qui améliorent l'homogénéité de la vitesse de gravure et peuvent également être inclinés dans certains systèmes pour faciliter l'uniformité. Un montage cathodique spécial est également utilisé pour éviter que la cible ne soit raccourcie sur les parois de la chambre et assurer un fonctionnement fiable. Enfin, la 3290 est équipée d'instruments de contrôle et de contrôle des processus de rotation et d'inclinaison du substrat, de courant et de tension vers la cible, de spectromètre de masse pour la surveillance de la pression de la chambre, d'alignement automatisé du substrat et de chauffages thermiques adaptables pour permettre le contrôle de la température du substrat. En résumé, VARIAN 3290 est une puissante machine à pulvériser pour le dépôt de couches minces reproductibles de haute qualité. Elle est privilégiée dans de nombreuses applications exigeantes de dépôt de couches minces telles que les revêtements optiques, la fabrication de semi-conducteurs et de dispositifs MEMS et la fabrication d'écrans OLED.