Occasion VARIAN 3290 #9240545 à vendre en France

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VARIAN 3290
Vendu
ID: 9240545
Taille de la plaquette: 6"
Sputtering system, 6" FLUKE 1722 Controller Station 1: Etch Station 2, 3, 4: TPI Target assy.
VARIAN 3290 est un équipement de pulvérisation sous vide qui utilise un magnétron à arc cathodique unique pour déposer des matériaux de pulvérisation sur des substrats ou des composants. C'est un outil polyvalent utilisé pour le revêtement de petites pièces et pour le prototypage de nouveaux matériaux ou procédés. Ce système de pulvérisation est composé de plusieurs chambres isolées à vide, et dispose d'une interface graphique intuitive pour un fonctionnement facile. Dans la chambre primaire 3290, le gaz est évacué par une pompe turbomoléculaire couplée à une cryopump, et la chambre est chauffée par une lampe quartz-halogène à haut rendement pour permettre une meilleure adhérence du film et même un dépôt. La chambre comporte également un tube en quartz tournant, qui permet une rotation rapide du substrat et une excellente homogénéité. Le magnétron à arc cathodique utilisé dans cette unité produit un arc généré par un courant électrique, qui sert ensuite à pulvériser des matériaux cibles de l'anode. L'unité de contrôle magnétron avancée fournit une puissance polyvalente et précise pour une qualité de film et une vitesse de dépôt optimales. La chambre secondaire contient une chambre à vide céramique pouvant être chargée d'un substrat pour tout procédé de dépôt. La chambre comprend plusieurs couches d'isolation sous vide pouvant supporter des températures extrêmes, permettant un dépôt multicouche et une gravure précise sur le substrat. En outre, il contient également un évier monté dans le plancher de la chambre, pour recueillir et enlever le matériau pulvérisé. Une machine de commande automatisée permet de faire fonctionner VARIAN 3290 à distance, avec une variété d'options de fonctionnement, y compris des réglages larges de l'outil, et des paramètres de dépôt. L'actif comprend également plusieurs vannes de dépression et soufflet, pour maintenir la pression dans chaque chambre. De plus, 3290 présente un modèle de bombardement ionique, qui permet d'optimiser l'adhérence des couches déposées en accélérant magnétiquement les ions dans la chambre basse pression, en évitant qu'ils ne viennent en contact avec le substrat. L'équipement est également équipé d'un système de métrologie optique, pour mesurer l'épaisseur exacte des couches déposées. Dans l'ensemble, VARIAN 3290 pulvérisateur est un choix idéal pour le revêtement de petites pièces et le développement de prototypes. Son magnétron à arc cathodique unique, associé à une machine de commande automatisée, de multiples chambres à vide et vannes, et un outil polyvalent de bombardement ionique, permet un dépôt précis des matériaux avec une excellente adhérence et uniformité.
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