Occasion VARIAN 3290 #9245003 à vendre en France
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Vendu
ID: 9245003
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1998
Sputtering system, 6"
Dual cassette loader
6000 Micron long lift heater
With digital heater controller
(3) Quantum sources per station
With (3) 12kW CPI power supplies, P/N: 04-716796-01
Cassette motor controller
Multi gauge controller
(2) MKS 250B Gas controllers
CTI On-board cryopump
CTI 8200 Compressor
(2) Process shields
Turbo load lock option
Chiller
(2) Metal cassette
RF-10S Generator and Etch option
VIPS Option
Target remove tool
Chamber wall shield remove tool
1988 vintage.
VARIAN 3290 est un équipement de pulvérisation ultramoderne conçu par VARIAN Semiconductor. Il est capable de produire des matériaux de haute qualité pour l'industrie de la microélectronique. 3290 est conçu pour déposer des couches minces de matériau sur des plaquettes semi-conductrices dans un environnement sous vide. Il est équipé de sources de pulvérisation simple ou double, d'alimentations variables, d'une source de gravure d'ions et d'un système de pompage à vide pour fournir une solution complète de procédé sous vide. VARIAN 3290 utilise la résonance cyclotron électronique (ECR) pour obtenir un dépôt uniforme de matériaux à haut débit. La méthode ECR permet un meilleur contrôle de la vitesse, de l'épaisseur et de l'uniformité du matériau déposé pour une meilleure performance. L'unité propose également des procédés secs et humides, les procédés humides comprenant plusieurs gravures plasma pour créer des couches de haute résolution sur les matériaux. La 3290 possède plusieurs caractéristiques pour la sécurité et la commodité, dont une machine intégrée de surveillance du matériel, des ports de jauge à vide et des plates-formes réglables en hauteur. De plus, VARIAN 3290 comprend un outil automatisé de contrôle des processus qui peut être utilisé pour identifier et résoudre les problèmes liés aux processus en temps réel. Les opérateurs peuvent également personnaliser les paramètres de processus pour chaque travail, comme la vitesse, le temps de dépôt et l'épaisseur du dépôt, afin d'obtenir les meilleurs résultats possibles. 3290 est un actif de pulvérisation par pulvérisation fiable et rentable qui offre un contrôle inégalé sur le taux et l'uniformité du matériau déposé. Il a plusieurs fonctionnalités pour la sécurité et la commodité, et son modèle de contrôle de processus hautement automatisé permet de résoudre facilement tous les problèmes liés aux processus. VARIAN 3290 est conçu pour des dépôts de haute qualité sur des plaquettes semi-conductrices afin de produire des rendements plus élevés et des performances améliorées dans l'industrie de la microélectronique.
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