Occasion VARIAN 3290 #9255392 à vendre en France

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VARIAN 3290
Vendu
ID: 9255392
Taille de la plaquette: 6"
Sputtering system, 6" Particle reduction CTI-8F Cryo pump Utility box Gen1 Power supply: 12 kW (3) TEL / TOKYO ELECTRON TP Guns RF Bias Compressor DC Bias with heater EUROTHERM Heater controller No VIPS.
VARIAN 3290 est un équipement de pulvérisation principalement utilisé pour la production de microélectronique. Il s'agit d'un système compact et intégré capable de réaliser divers procédés tels que le dépôt de nitrure de tantale, de dioxyde de silicium, de cuivre et de poly-silicium à basse température, ainsi que des procédés de gravure tels que la RIE positive et négative (Reactive Ion Etching). 3290 présente plusieurs avantages par rapport à d'autres systèmes de pulvérisation tels que sa petite, compacte et grande chambre à vide. Il est conçu pour fonctionner sur une gamme de substrats allant de simples 2 "x 2" jusqu'à la taille d'une plaquette de 6 ". Les caractéristiques de VARIAN 3290 lui donnent une capacité polyvalente pour effectuer diverses tâches de pulvérisation. Il a la capacité d'ajuster la vitesse du procédé de pulvérisation en fonction de la taille et de la complexité du substrat en cours de dépôt. Il a également une variété de cibles de pulvérisation différentes disponibles, permettant de différents matériaux de dépôt et procédés de gravure. Il existe un choix d'alimentations en courant continu ou RF (Radio Frequency) qui peuvent fonctionner selon le type de pulvérisation. Ces alimentations peuvent également être programmées pour régler la tension allant de 0 à 5 kV pour RF et 0-3kV pour DC, permettant un contrôle précis du processus de pulvérisation. 3290 est équipé de commandes complètes de signal pour le processus. Il dispose de plusieurs affichages numériques tels que la lecture de pression, les indications de température et de niveau de tension, les informations de pression magnétique et la température de la chambre. L'unité dispose également d'un codeur linéaire intégré qui surveille le mouvement linéaire des cibles de pulvérisation. Il peut également être connecté à un ordinateur personnel pour l'acquisition de données et la programmation. Dans l'ensemble, VARIAN 3290 est une machine efficace pour les revêtements par pulvérisation. C'est un outil ergonomique conçu pour prendre beaucoup moins d'espace par rapport à d'autres systèmes de pulvérisation. Sa gamme de paramètres réglables peut être utilisée pour créer des revêtements de pulvérisation cohérents et de haute qualité. En outre, 3290 convient pour la basse température, l'électronique miniaturisée, et le développement de micro-systèmes avancés. Avec son moteur pas à pas précis et son fonctionnement facile, VARIAN 3290 est un atout de pulvérisation compact idéal pour les travaux de recherche et de production.
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