Occasion VARIAN 3290 #9257985 à vendre en France

VARIAN 3290 est un équipement de pulvérisation à haut débit conçu pour le dépôt rapide et précis de couches minces à la surface d'une gamme de substrats. Ce procédé de dépôt présente divers avantages, notamment des taux élevés de dépôt métallique, une meilleure adhérence de la couche métallique et des propriétés électriques et optiques améliorées des pièces. 3290 utilise la technique de pulvérisation magnétron pour déposer des couches nanoscopiques de matériau sur le substrat. Le système est capable de traiter des substrats jusqu'à 200mm carrés et une variété de matériaux dont l'acier inoxydable, l'aluminium, le tungstène, le titane, le cuivre, le chrome, le cobalt, le nickel et l'or. VARIAN 3290 dispose d'une chambre à vide de l'ordre de 1 à 6E-3 Torr, permettant des processus de dépôt simples avec une contamination minimale. La pulvérisation magnétron RF et DC est disponible et peut être contrôlée via une interface tactile. Le pistolet pulvérisateur est constitué d'aimants cylindriques, qui produisent un plasma uniforme à haute densité à l'intérieur de la chambre. Le substrat est maintenu dans la chambre par une table tournante ; la vitesse de dépôt est contrôlée par le réglage de la vitesse de rotation et du champ magnétique produit par les aimants. Un gaz noble tel que l'argon peut être utilisé pour assister le procédé à une vitesse comprise entre 5 et 120 sccm. 3290 utilise soit une pompe mécanique, soit une cryopump pour maintenir le vide dans la chambre. L'unité dispose également d'un contrôle programmable automatisé, permettant des processus à chaque fois très précis. Le processus peut être surveillé via un moniteur d'image et des manipulateurs automatisés avec une capacité de basculement automatique. VARIAN 3290 offre un contrôle précis de l'épaisseur de la couche avec un minimum de 10 Angstrom de précision. De plus, un dépôt uniforme et stoechiométrique de jusqu'à 10 couches à chaque course est réalisable. La machine est essentiellement une solution de procédé complète pour le dépôt de couches minces, fournissant des résultats fiables et reproductibles à chaque fois.