Occasion VARIAN 3290 #9273814 à vendre en France
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Vendu
ID: 9273814
Sputtering system, 6"
With PC
(3) Process modules
AC Rack
Compressor
Particle reduction option
Water pump option
CTI 8F Cryo pump
Utility box
Power supply type: 12kW (Gen1)
RF Bias option
DC Bias with heater
EUROTHERM Heater controller
FLUKE 1722, 1722A / KESA Controller
Controllers:
FLUKE 1722A with floppy diskette
Wafer Load Controller (WLC)
Wafer Process Controller (WPC)
ARGON MKS-250B Controller
Wafer Heater Controller (WHC)
EUROTHERM Heater controller
Thin film monitor
Thermocouple gauge control
Interlock and interface chassis
Vacuum system control
Ion gauge control
Cryo temperature monitor
Power distribution chassis
Low voltage power supply
Master interconnect
RF Etch monitor
Phase mag discriminator
Electrical utility box
Mechanical utility box
Wafer handler utility box
DC Power supplies: 12kW
RF Generator IKW: RFPP RF-10
Bias option heater block
Mechanical pump
CTI Cryo pump and compressor
Coaxial feedthrouh type
HI-Vac valve
Source power meter
Cassette motor controller
RF Matching controller
Wafer handler assy
No loadlock turbo control
No VIPS turbo controller
Metal cassette missing.
VARIAN 3290 est un équipement de pulvérisation qui a été conçu et développé par VARIAN Corporation. Ce système de pointe permet un contrôle précis du procédé de dépôt en couches minces. Il offre une excellente précision dans le dépôt des matériaux et un contrôle supérieur des processus de nettoyage. 3290 est une unité en trois parties. Le module source de matériaux est celui où des matériaux tels que des métaux, des alliages et des oxydes sont introduits dans la machine à des vitesses prédéterminées. Une fois que les matériaux sont introduits dans la source de matériau, le procédé a lieu à l'intérieur de la chambre chauffée, où le substrat est placé. La troisième partie, le module d'alimentation, fournit un signal RF réglable qui crée une interaction entre le substrat et le matériau et forme finalement le film mince du matériau désiré sur le substrat. L'outil offre un haut degré de contrôle sur le processus de dépôt, ce qui comprend plusieurs fréquences de fonctionnement, le contrôle de la température et des débits réglables. Ce haut degré de contrôle et de précision est obtenu grâce à la technologie d'alimentation innovante, à des mesures précises du champ magnétique et à la technologie des pulvérisateurs amplifiés par plasma pulsé. En outre, l'actif est construit avec une interface intuitive et conviviale qui permet de contrôler les paramètres de configuration du modèle ainsi que sa surveillance des paramètres en temps réel. L'équipement est équipé d'un certain nombre de caractéristiques de sécurité différentes telles qu'un bouton d'arrêt de sécurité dans le système ainsi qu'une unité de protection contre la surpression automatisée. Les caractéristiques de sécurité sont conçues pour assurer le fonctionnement sûr de la machine tout en assurant l'intégrité des matériaux affectés. On assure ainsi la qualité des matériaux déposés. L'outil est l'un des actifs de pulvérisation les plus fiables et avancés disponibles sur le marché. C'est également l'un des systèmes les plus conviviaux, ce qui le rend facile à apprendre et à utiliser par la suite dans différents cas d'utilisation. VARIAN 3290 est adapté à de nombreuses applications de dépôt et d'utilisation de couches minces, fournissant des revêtements optiques de la plus haute qualité, des films, et plus pour un large éventail d'industries. Ce modèle rapprochera tout laboratoire du dépôt avancé de couches minces et créera un avantage concurrentiel plus important.
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