Occasion VARIAN 3290 #9273814 à vendre en France

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ID: 9273814
Sputtering system, 6" With PC (3) Process modules AC Rack Compressor Particle reduction option Water pump option CTI 8F Cryo pump Utility box Power supply type: 12kW (Gen1) RF Bias option DC Bias with heater EUROTHERM Heater controller FLUKE 1722, 1722A / KESA Controller Controllers: FLUKE 1722A with floppy diskette Wafer Load Controller (WLC) Wafer Process Controller (WPC) ARGON MKS-250B Controller Wafer Heater Controller (WHC) EUROTHERM Heater controller Thin film monitor Thermocouple gauge control Interlock and interface chassis Vacuum system control Ion gauge control Cryo temperature monitor Power distribution chassis Low voltage power supply Master interconnect RF Etch monitor Phase mag discriminator Electrical utility box Mechanical utility box Wafer handler utility box DC Power supplies: 12kW RF Generator IKW: RFPP RF-10 Bias option heater block Mechanical pump CTI Cryo pump and compressor Coaxial feedthrouh type HI-Vac valve Source power meter Cassette motor controller RF Matching controller Wafer handler assy No loadlock turbo control No VIPS turbo controller Metal cassette missing.
VARIAN 3290 est un équipement de pulvérisation qui a été conçu et développé par VARIAN Corporation. Ce système de pointe permet un contrôle précis du procédé de dépôt en couches minces. Il offre une excellente précision dans le dépôt des matériaux et un contrôle supérieur des processus de nettoyage. 3290 est une unité en trois parties. Le module source de matériaux est celui où des matériaux tels que des métaux, des alliages et des oxydes sont introduits dans la machine à des vitesses prédéterminées. Une fois que les matériaux sont introduits dans la source de matériau, le procédé a lieu à l'intérieur de la chambre chauffée, où le substrat est placé. La troisième partie, le module d'alimentation, fournit un signal RF réglable qui crée une interaction entre le substrat et le matériau et forme finalement le film mince du matériau désiré sur le substrat. L'outil offre un haut degré de contrôle sur le processus de dépôt, ce qui comprend plusieurs fréquences de fonctionnement, le contrôle de la température et des débits réglables. Ce haut degré de contrôle et de précision est obtenu grâce à la technologie d'alimentation innovante, à des mesures précises du champ magnétique et à la technologie des pulvérisateurs amplifiés par plasma pulsé. En outre, l'actif est construit avec une interface intuitive et conviviale qui permet de contrôler les paramètres de configuration du modèle ainsi que sa surveillance des paramètres en temps réel. L'équipement est équipé d'un certain nombre de caractéristiques de sécurité différentes telles qu'un bouton d'arrêt de sécurité dans le système ainsi qu'une unité de protection contre la surpression automatisée. Les caractéristiques de sécurité sont conçues pour assurer le fonctionnement sûr de la machine tout en assurant l'intégrité des matériaux affectés. On assure ainsi la qualité des matériaux déposés. L'outil est l'un des actifs de pulvérisation les plus fiables et avancés disponibles sur le marché. C'est également l'un des systèmes les plus conviviaux, ce qui le rend facile à apprendre et à utiliser par la suite dans différents cas d'utilisation. VARIAN 3290 est adapté à de nombreuses applications de dépôt et d'utilisation de couches minces, fournissant des revêtements optiques de la plus haute qualité, des films, et plus pour un large éventail d'industries. Ce modèle rapprochera tout laboratoire du dépôt avancé de couches minces et créera un avantage concurrentiel plus important.
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