Occasion VARIAN 3290 #9398805 à vendre en France

VARIAN 3290 est un système de dépôt polyvalent et performant conçu pour une large gamme d'applications de dépôt physique en phase vapeur (PVD). L'unité offre un contrôle précis des taux de dépôt et des paramètres du procédé, des taux de dépôt rapides et une uniformité précise sur les grands échantillons, ainsi qu'un fonctionnement robuste et fiable. 3290 est une machine PVD modulaire, avec une variété de modules et composants supplémentaires pour soutenir des applications ou des processus spécifiques. L'outil comprend un pistolet de haute puissance, une alimentation RF ou DC, la capacité de surveiller les paramètres du processus, et une chambre de stockage intégrée avec jusqu'à quatre chambres de travail. Les chambres peuvent être équipées pour effectuer des dépôts traditionnels de pulvérisation, des dépôts multi-cibles et des dépôts à double cible, des pulvérisations réactives et une grande variété de configurations supplémentaires au fur et à mesure que les exigences du processus changent. Pour assurer une uniformité supérieure, l'actif offre une compensation automatique d'uniformité (ASC) pour assurer une uniformité sur l'ensemble du substrat. Le modèle dispose également d'un contrôle de température de haute précision, avec des températures de processus allant de la température ambiante à plus de 1000 ° C, ainsi que des capacités de frottement de température pour les couches de films optiques et conformes. VARIAN 3290 est conçu pour fonctionner jusqu'à 10 Torr à des niveaux de vide de 1x10-7 Torr, avec une vitesse de pompage allant jusqu'à 30 litres par seconde, et est conforme aux dernières normes RoHS pour la compatibilité des matériaux. L'équipement est alimenté par une combinaison d'un moteur numérique pas à pas (DMS), un moteur linéaire (LM), et un moteur analogique à boucle ouverte (AM) pour fournir un contrôle de mouvement rapide et précis. Pour une sécurité maximale, 3290 comprend des fonctionnalités de sécurité avancées telles qu'un système intégré de verrouillage de sécurité, des fonctions d'arrêt d'urgence externes et un contrôleur intégré. Le contrôleur fournit une configuration facile et répétable de l'unité, ainsi que la capacité d'ajuster les paramètres de pulvérisation et de dépôt selon les besoins. VARIAN 3290 est une machine PVD polyvalente et fiable qui peut être utilisée pour créer une variété de matériaux stratifiés, y compris les métaux, les alliages, les oxydes et les diélectriques. L'outil est idéal pour des applications dans des domaines tels que la microélectronique, l'optoélectronique, l'aérospatiale et la défense, l'automobile et les usages industriels. L'actif est conçu pour un entretien facile et peut être amélioré pour des performances plus élevées et des capacités de contrôle de processus améliorées.