Occasion VARIAN 3290ST #293628007 à vendre en France
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ID: 293628007
Taille de la plaquette: 6"
Sputtering system, 6"
Quantum targets
VIPS Etch station
CTI Cryopump, 8"
9600 Compressor
Datatrak control system.
VARIAN 3290ST est un équipement robuste et performant conçu pour le dépôt de couches minces de haute qualité sur des substrats. Il utilise un principe novateur de double magnétron pour créer un processus de dépôt uniforme et hautement contrôlable. Ceci permet le dépôt d'une variété de matériaux différents, y compris conducteurs, isolants et magnétiques, sur des substrats de formes, de tailles et de compositions différentes. VARIAN 3290 ST est composé d'une chambre et d'une tête de dépôt contrôlée sous vide. La chambre est hermétiquement étanche et comporte un magnétron à basse impédance ainsi que deux jeux d'électrodes de triode. Pour maintenir son niveau de vide, une pompe turbomoléculaire est incluse. Le magnétron fournit un champ de pulvérisation uniforme et permet des vitesses de dépôt contrôlables. Il dispose également d'un système réglable de contrôle des gaz afin d'assurer un environnement optimal pour une qualité de film optimale. La tête de dépôt est composée de deux séries de bobines, qui créent un champ magnétique. Le premier jeu de bobines est utilisé pour appliquer une impulsion de puissance plasma sur le substrat, tandis que le second jeu est utilisé pour générer un champ de pulvérisation uniforme. Le champ de pulvérisation est capable de produire une distribution d'énergie uniforme sur la surface du substrat, ce qui conduit à un taux de dépôt élevé et à une qualité de film bien définie. Cette unité est conçue pour fonctionner avec le vide et la pression atmosphérique. Sa machine de contrôle des gaz permet de régler différents débits de gaz, ainsi que la pression, le rapport, la tension de polarisation et la température. 3290ST est également équipé d'un outil de contrôle avancé qui assure un contrôle optimal du processus et la répétabilité. 3290 ST est un atout de pulvérisation fiable et rentable qui est idéal pour créer des films minces de haute qualité. Sa conception avancée offre une meilleure qualité de film et de contrôle des processus, ainsi qu'une longue durée de vie. Avec ses hautes performances, il est idéal pour les applications dans les industries automobile, aérospatiale, optique et semi-conductrice.
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