Occasion VARIAN M 2000 #9278013 à vendre en France

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VARIAN M 2000
Vendu
ID: 9278013
Taille de la plaquette: 6"
Sputtering system, 6" Wafer type: Flat Target assy (2) Cassette batches: 25 Slots Cassette environment: Vacuum Main frame with (4) chambers (6) Racks Chiller Power rack (2) Monitors Pump power interface (2) Compressors (5) Oil pumps Damage parts: CE2 Chamber A2 Rack for chamber A2 Quantum source Missing parts: Turbo pump including pipe fittings Wafer temperature controller Heater power supply controller.
VARIAN M 2000 est un équipement de pulvérisation de précision idéal pour le dépôt de couches minces. Il est équipé de tous les composants nécessaires pour pulvériser des films minces, tels qu'un pistolet, un positionnement ajusté, un contrôle des processus, des diagnostics et un système de vide. Le pistolet pulvérisateur est conçu pour offrir un positionnement rapide et précis, permettant de pulvériser jusqu'à trois cibles simultanément pour plus de commodité. Sa source de plasma sous tension aligne le matériau pulvérisé avec le substrat, ce qui permet un dépôt de film uniforme sur toute la zone de travail. Le pistolet est également équipé d'un panneau de contrôle facile à utiliser qui permet la surveillance et le contrôle in situ du processus de pulvérisation. VARIAN M2 000 offre également un contrôle de position précis qui permet un dépôt plus mince et plus uniforme du matériau pulvérisé, assurant une épaisseur constante des couches minces sur la zone de travail. Les contrôleurs de détection de position permettent la rotation de précision et l'inclinaison du pistolet de pulvérisation. Un tel contrôle de rotation et d'inclinaison précis est particulièrement important lors de la pulvérisation de substrats complexes sous un angle. La fonction de diagnostic de processus de M 2000 permet de surveiller et de contrôler en temps réel le processus de pulvérisation. Ces diagnostics comprennent la détection de particules, la surveillance du vide, la mesure de la température du substrat, la détection du flux de gaz et la mesure des capteurs de pression. Cela permet aux opérateurs de surveiller et d'analyser le processus de pulvérisation afin de déterminer les paramètres de processus les plus efficaces. Le M2 000 est également équipé d'une unité de vide qui, combinée à ses autres caractéristiques, peut fournir un procédé de dépôt extrêmement contrôlé garantissant le dépôt en couches minces le plus précis possible. Des paramètres détaillés tels que la vitesse de fuite, la rugosité de surface et l'épaisseur du film peuvent être contrôlés avec cette machine. En conclusion, VARIAN M 2000 est un outil de pulvérisation conçu pour le dépôt précis de couches minces. Son canon de pulvérisation de précision, son contrôle de position précis, ses diagnostics de processus et son équipement sous vide ultra-contrôlé font de VARIAN M2 000 le choix idéal pour toute exigence de recherche ou de dépôt commercial de couches minces.
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