Occasion VARIAN M2I #293813097 à vendre en France

VARIAN M2I
ID: 293813097
Sputtering systems.
VARIAN M2I est un équipement de dépôt de pulvérisateurs multi-axes haut de gamme fabriqué par VARIAN Systems, Inc. Le système est conçu pour fournir des revêtements pulvérisés de haute qualité sur une variété de substrats, y compris les métaux, les semi-conducteurs, les plastiques et les céramiques. L'unité VARIAN M 2 I utilise une configuration indirecte DC-magnétron/arc-cible, dans une plate-forme robotique à trois axes. Cette configuration assure une sophistication optimale du processus et des capacités de dépôt de pulvérisation de revêtements avancés. La machine dispose d'une chambre fermée de dépôt de pulvérisateurs avec un étage de substrat de huit pouces, bras robotique armé de 5-13, 3 pistolets robotisés à double pointe et huit contrôleurs de processus indigitaux. Le bras robotique permet à l'actif de pulvériser à la fois des substrats complexes et de grande surface, tout en maintenant l'épaisseur et la qualité de la couche constante. En outre, l'instrument dispose d'un modèle de contrôle de pression avec une plage de +/-3 mTorr, et d'un sous-système entrée/sortie de gaz qui fournit un débit de gaz pulsé ou continu rapide. L'unité PLC numérique de M2I dispose d'algorithmes avancés de contrôle en cours de processus, permettant à l'équipement d'inclure à la fois le dépôt réactif de pulvérisateurs et le dépôt pur et passif de pulvérisateurs. En outre, l'instrument dispose d'un sous-système intégré à trois chambres sous vide, qui contribue à assurer un degré élevé de propreté et une faible pression de fond de gaz pendant le processus de dépôt. Ce sous-système peut également être utilisé pour des recettes nécessitant des matériaux multiples. M 2 I fournit un large éventail de caractéristiques supplémentaires pour optimiser et rationaliser davantage le processus de dépôt. Ceux-ci comprennent un chauffe-cible programmable qui peut être utilisé pour réchauffer la cible jusqu'à la température de pulvérisation souhaitée, et un moniteur de processus en temps réel qui affiche les différents paramètres de pulvérisation en temps réel. VARIAN M2I est un système avancé de dépôt de pulvérisateurs multi-axes conçu pour fournir des revêtements pulvérisés de haute qualité sur un large éventail de substrats, y compris les métaux, les semi-conducteurs, les plastiques et la céramique. L'unité comprend un étage de substrat de huit pouces, un bras robotique armé de 5 à 13 pouces, trois pistolets robotisés à double pointe et une machine de contrôle de pression. En outre, l'instrument dispose d'une unité PLC numérique avec des algorithmes avancés de contrôle en cours de processus, et d'un sous-système de vide à trois chambres qui assure une propreté optimale et une faible pression de fond de gaz. Enfin, VARIAN M 2 I dispose d'un dispositif programmable de chauffage des cibles et de surveillance des processus en temps réel pour améliorer encore la sophistication des procédés et les capacités de dépôt des pulvérisateurs.
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