Occasion VARIAN / NOVELLUS M2i #9146577 à vendre en France

VARIAN/NOVELLUS M2i est l'un des outils de dépôt les plus polyvalents. Il s'agit d'une plateforme multi-technologies avec une capacité de surveillance et de contrôle in situ entièrement automatisée. VARIAN M2i est équipé de deux ou quatre cathodes planaires et peut délivrer jusqu'à 100 watts à 25 MHz et 1000 watts à 250 MHz. Il convient à un large éventail de matériaux, y compris les métaux, les alliages, les oxydes et les chalcogénures. NOVELLUS M2i est un outil multi-technique avec pulvérisation magnétron RF et DC, gravure ionique réactive (RIE) et rotation de substrat avancée. Ces techniques peuvent être utilisées dans une variété de combinaisons et de procédés pour permettre le dépôt de matériaux avancés et complexes. Le système dispose également d'une source de pulvérisation haute puissance et haute vitesse MESA DC, qui est intégrée dans la même chambre à vide. Cette plate-forme intégrée permet la pulvérisation simultanée de différents matériaux provenant de sources différentes, ainsi que la commutation rapide entre sources de pulvérisation. Le contrôle avancé et les systèmes de surveillance utilisés avec M2i bafouillant l'unité peut être complètement automatisée pour garantir que les propriétés désirées sont accomplies. Ceci est encore amélioré grâce aux capacités de surveillance in situ qui permettent de mesurer en temps réel l'épaisseur, la composition et les propriétés électriques. En outre, VARIAN/NOVELLUS M2i comprend une fonction brevetée de contrôle multi-paramètres qui permet la surveillance simultanée de sources de pulvérisation multiples, permettant une gestion et une optimisation supérieures des processus. VARIAN M2i comprend également un certain nombre de fonctionnalités supplémentaires qui en font un outil idéal pour la recherche avancée. Il s'agit notamment d'une chambre réactive pour la gravure, d'une machine de diagnostic de surface in situ, d'une grande chambre d'échantillonnage avec une large plage de température, et d'un certain nombre d'autres capacités qui permettent le dépôt personnalisé de matériaux avancés. Avec ses systèmes intégrés pour le dépôt de matériaux et le contrôle automatisé, NOVELLUS M2i fournit une solution pour le dépôt de matériaux complexes avec précision.