Occasion VARIAN / NOVELLUS M2i #9153571 à vendre en France

VARIAN/NOVELLUS M2i est un outil de dépôt de pointe qui utilise la technologie de pulvérisation par dépôt physique en phase vapeur (PVD) pour déposer des couches minces sur des substrats. VARIAN M2i dispose d'une architecture de tourelle double qui permet aux utilisateurs de passer rapidement entre le blindage extérieur, le blindage supérieur et inférieur et les processus de pulvérisation de substrat. Ce système est capable de créer des revêtements de haute qualité et de haute performance avec une contamination minimale des particules et un chauffage du substrat dépendant du processus. Le système se compose de deux tourelles commandées indépendamment avec deux alimentations indépendantes. Les tourelles sont capables de commuter entre trois procédés indépendants, dont le pulvérisateur de blindage externe, le pulvérisateur de blindage supérieur et inférieur, et le pulvérisateur de substrat. Le procédé de blindage externe utilise une source RF à plaque parallèle d'une puissance maximale de 400W pour pulvériser le périmètre extérieur du substrat et protéger thermiquement le substrat des produits du procédé. Ce procédé permet de réduire au minimum la contamination par les particules et le chauffage du substrat pendant le processus de dépôt. Les processus de blindage supérieur et inférieur utilisent deux sources RF supplémentaires, chaque source fournissant une puissance maximale de 400W. Ces sources sont orientées selon un angle par rapport au substrat de manière à ce que les ions soient éloignés du substrat et maintiennent des températures de processus plus élevées au niveau de la collision ionique. De plus, les écrans supérieur et inférieur servent de barrière thermique supplémentaire et permettent au matériau de dépôt de recouvrir lentement la surface du substrat. Enfin, le procédé de pulvérisation du substrat utilise une source de courant continu (DC) d'une puissance maximale de 600W pour pulvériser le matériau directement sur le substrat. Ce procédé permet de s'assurer qu'un film uniforme est déposé et que le procédé de dépôt est très efficace. Dans l'ensemble, NOVELLUS M2i est un système de pulvérisation par pulvérisation extrêmement polyvalent capable de créer des revêtements de haute qualité et de précision avec un minimum de dommages au substrat et de contamination par les particules. Ce procédé PVD très efficace est idéal pour une large gamme d'applications de couches minces, y compris les supports d'enregistrement magnétique, les revêtements durs et les films optiques.