Occasion VARIAN / NOVELLUS M2i #9213819 à vendre en France

VARIAN/NOVELLUS M2i est un équipement de pulvérisation conçu pour les procédés de dépôt physique en phase vapeur (PVD) à pression atmosphérique. C'est un système polyvalent et compact qui utilise une grande variété de cibles de pulvérisation et de sources de dépôt pour produire des films minces dans un large éventail d'applications. Les composants de l'unité sont conçus pour maximiser le débit de dépôt, le rendement et la cohérence du processus. Il dispose de deux banques de cibles et d'une double machine de pulvérisation magnétron, permettant un dépôt simultané et séquentiel de pulvérisateurs. L'outil est conçu pour la flexibilité dans le dépôt des matériaux, avec une grande variété de matériaux cibles et de modes de pulvérisation disponibles. La source d'énergie de l'actif est capable de fournir 25 + kW de puissance aux cibles de pulvérisation, permettant un excellent contrôle du processus. Le contrôleur intégré a une pression de chambre réglable pour améliorer le dépôt des pulvérisateurs. Le modèle breveté de pulvérisation à double magnétron permet de fonctionner dans les dépôts assistés ioniques (IAD) et une large gamme de modes de pulvérisation cathodique. L'équipement dispose également d'un contrôle automatisé des films et de la surveillance des processus. Cela garantit que les processus sont optimisés pour minimiser les défauts et les écarts de processus. Parmi les autres caractéristiques est une turbo-pompe et recirculation système de refroidissement qui évite la contamination de la chambre. VARIAN M2i est une solution idéale pour les applications à haut débit de dépôt. Les procédés peuvent être mis en œuvre rapidement et avec précision et l'élément chauffant intégré permet un dépôt de film à basse température. C'est une unité haut de gamme, offrant les meilleures solutions technologiques PVD.