Occasion VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #9083530 à vendre en France

VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 est un équipement de pulvérisation compact et puissant idéal pour le dépôt de couches minces. Le système est entièrement automatisé avec une source de pulvérisation, un substrat et un ensemble cible, et un dispositif de transfert de cathode aseptique. L'ensemble des sources de pulvérisation est doté d'une source de pulvérisation magnétique à évapotron améliorée et est capable de pulvérisation magnétique à courant continu et RF. L'ensemble cible et substrat comprend une étape de translation linéaire, chargée d'une cible de pulvérisation ronde ou rectangulaire, ainsi qu'un support de substrat rotatif permettant un chargement et un déchargement aisés des substrats. Le dispositif de transfert de cathode aseptique est conçu pour assurer des transferts de substrat propres et reproductibles sur une large gamme de températures et comprend une source d'ions et un obturateur électrostatique pour éviter toute contamination particulaire indésirable. TEL MB2-730 peut atteindre des pressions de fonctionnement aussi faibles que 10 millitorr et peut accueillir des substrats jusqu'à 24 po de diamètre. Il dispose également d'un support de substrat à température contrôlée pour maintenir une température de substrat stable, ainsi que d'un remblai d'argon et d'un obturateur pour plus de sécurité. L'unité est conçue pour faciliter l'utilisation et la fiabilité et a été optimisée pour fournir un dépôt uniforme de divers films, y compris les métaux, les diélectriques, les conducteurs et les semi-conducteurs. VARIAN MB2-730 est une machine à pulvériser puissante et polyvalente idéale pour les applications de dépôt en couches minces.