Occasion VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #9100777 à vendre en France

ID: 9100777
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
WSIX CVD System, 8" (3) Chamber (L/R/C) System DCS-WSIX Process specification (2) Chambers (2) Loadlocks (2) Cassettes (2) MKS Baratron Water pressure: 5 kg fc m2 Water flow: 33 litre / min Water temperature: 15-25° C General exhaust volume: 3.2 m3 / min With touch panel display Monitor Keyboard Mouse Turbo pump and dry pump Gas: WF6 5 SCCM, DCS 500 SCCM, (2) Ar 200 SCCM, Ar 100 SCCM, ClF3 500 SCCM Power supply: AC 208 V, 150 Hz, 3 Phase, 100 kVA 1997 vintage.
VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 est un équipement de pulvérisation conçu pour le dépôt fiable de couches minces et de revêtements. Ce système utilise un panneau d'exploitation intégré (OP) qui permet un réglage facile, l'acquisition de données pratiques et le développement de recettes. TEL MB2-730 dispose d'une configuration unique Magnetron-Quad, qui permet à l'unité de créer quatre arcs de pulvérisation à partir d'une seule source, permettant un dépôt rapide et efficace de couches minces. Chaque arc de pulvérisation est utilisé pour déposer un matériau différent, et la machine est capable d'effectuer plusieurs couches de dépôt à la fois. Les bobines électromagnétiques peuvent être ajustées avec précision pour contrôler le degré précis d'ionisation appliquée. La chambre VARIAN MB2-730 est hermétiquement fermée avec des technologies de purge d'air et de refroidissement d'appareils. Ceci permet de limiter au minimum les niveaux de contaminants et de maintenir une température de substrat faible lors du dépôt. En conséquence, la qualité des films minces que nous avons produits avec cet outil est exceptionnellement élevée. Les sources à l'intérieur de TOKYO ELECTRON MB2-730 comprennent les sources de pulvérisation magnétron, les sources d'ions et les sources de canon à électrons. Toutes les sources sont montées sur un étage rotatif pour un accès facile, et chaque source a des niveaux de puissance réglables pour un contrôle précis de la vitesse de dépôt du film. En outre, MB2-730 est également équipé d'un moniteur à quartz qui peut détecter la présence de sels de silice dans la chambre. VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 est également livré avec une variété de caractéristiques de sécurité pour protéger l'équipement et l'utilisateur. Il y a un interrupteur STOP d'urgence, ainsi que les moyens d'isolation du gaz, le blindage RF et l'échangeur de chaleur à circulation d'eau. Le modèle est également équipé d'un équipement de verrouillage qui va arrêter le système en cas d'urgence. Dans l'ensemble, TEL MB2-730 est une puissante unité de pulvérisation pour produire des couches minces et des revêtements fiables et de haute qualité. Sa configuration Magnetron-Quad et ses niveaux de puissance réglables permettent un contrôle précis, et le panneau d'exploitation intégré et les puissantes caractéristiques de sécurité garantissent la sécurité des utilisateurs et l'intégrité de l'équipement.
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