Occasion VCR GROUP IBS / TM200S #9246303 à vendre en France
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ID: 9246303
Ion Beam Sputtering (IBS) system
With 200 I/s turbo-molecular pump
Ion-beam gun
Quartz crystal thickness monitor
4-Position target carrier
Liquid nitrogen cold trap
Argon gas flow: 5-10 psi, 1.5 sccm, 99.999 % pure
Nitrogen gas flow: Turbo molecular pump bleed
Water flow: 30 GPH, clean water
Electrical:
Interlocked to prevent high voltage shock
110 VAC, 50/60 Hz, 15 Amps.
VCR GROUP IBS/ TM200S est un équipement de pulvérisation, principalement utilisé pour le dépôt physique en phase vapeur de couches minces. Il utilise la puissance du bombardement ionique pendant le processus de dépôt en couches minces, ce qui le rend particulièrement bien adapté aux technologies PVD (Physical Vapor Deposition). IBS/ TM200S est actionné par un système de commande de mouvement 9 axes, et est capable de créer divers processus de pulvérisation allant de la pulvérisation unidirectionnelle à la pulvérisation inversée de polarité. Le procédé de pulvérisation électrique utilise une alimentation haute tension et une cathode (cible) ainsi qu'une cathode de blindage pour contrôler le plasma et créer le profil d'épaisseur de dépôt souhaité. Le processus de pulvérisation est initié lorsque la cible est bombardée d'un faisceau d'ions. Ce bombardement réchauffe la surface cible, évaporant des atomes qui sont ensuite accélérés dans un faisceau uniforme et sans direction vers le substrat qui est en contact avec la chambre de pulvérisation. Lorsque les atomes énergétiques se dirigent vers le substrat, ils rencontrent un écran qui réfléchit partiellement les atomes énergétiques et permet au film déposé de se former à l'endroit souhaité. L'épaisseur du film mince peut être ajustée en contrôlant la vitesse d'évaporation du matériau cible. VCR GROUP IBS/ TM200S est spécifiquement conçu pour améliorer la précision de l'épaisseur de dépôt, l'uniformité et l'homogénéité du film sur de grands substrats. En plus de la pulvérisation, IBS/ TM200S est capable de contrôler le transport des plaquettes. Il utilise une unité de transfert automatisé de plaquettes pour commander à la fois l'insertion de plaquettes et l'extraction de la chambre de pulvérisation. Cette machine agit comme un effecteur d'extrémité et est un élément de sécurité important qui assure la sécurité de l'échantillon. VCR GROUP IBS/ TM200S est également équipé de fonctionnalités telles qu'un outil de verrouillage de charge, un outil de contrôle d'épaisseur en boucle fermée et un modèle de démarrage automatique. Toutes ces caractéristiques sont réunies pour faire d'IBS/ TM200S un choix idéal pour les applications physiques de dépôt en phase vapeur.
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