Occasion VCR GROUP TM200S #9377152 à vendre en France
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VCR GROUP TM200S est un outil de dépôt sous vide de pointe conçu pour fournir une solution fiable et efficace pour le dépôt de semi-conducteurs. Ce système de pulvérisation est constitué d'une unité de pompage turbomoléculaire avancée, d'un canon à faisceau ionique multifacettes et d'une chambre de procédé haute pression. TM200S est une machine multi-techniques qui peut être utilisée pour la pulvérisation magnétron ou par faisceau d'ions. La chambre de traitement haute pression de l'outil de pulvérisation VCR GROUP TM200S est équipée de deux poteaux de support pour le montage des pièces et d'une buse qui peut être utilisée soit pour le dépôt des pulvérisateurs, soit pour le traitement des canons à ions. La chambre est également équipée de deux grilles en acier inoxydable, une pour la cible et une pour le porte-substrat. Cela permet un dépôt régulier et régulier tout en évitant la contamination. Le distributeur de gaz à l'intérieur de la chambre aide à répartir uniformément les gaz de procédé dans la chambre, assurant un processus de pulvérisation optimal. En plus de la chambre de processus principale, TM200S asset est également livré avec un canon à faisceau ionique multifacettes. Ce canon à ions se compose d'une chambre d'anode et de cathode en deux pièces avec des hauteurs réglables. Les hauteurs réglables permettent une variation de l'angle d'attaque et de l'intensité du faisceau d'ions. Ceci permet une modification précise de l'épaisseur et de la composition de la couche finale. Le procédé de dépôt des pulvérisateurs se produit dans la même chambre que le canon à faisceau d'ions et est piloté par un modèle de pompage turbomoléculaire. L'équipement de pompage est suffisamment puissant pour générer un vide allant jusqu'à 10-9 Torr et aide à maintenir un environnement optimisé pour le dépôt précis des films. Le système dispose également d'un contrôleur numérique qui fournit le niveau exact de puissance et de pression nécessaire pour le processus de pulvérisation. VCR GROUP TM200S est une unité de pulvérisation de pointe avec des capacités de dépôt de film précises et fiables. Ses fonctionnalités avancées, y compris une machine de pompage rapide, un canon à faisceau ionique réglable et un contrôleur numérique, assurent le contrôle ultime du processus de production et aident à garantir que les produits de la plus haute qualité sont produits.
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