Occasion VEECO INSTRUMENTS VCE.PVDI C-2 #9209412 à vendre en France

VEECO INSTRUMENTS VCE.PVDI C-2 équipement de pulvérisation est un système fiable et rentable développé pour permettre le revêtement de substrats avec des couches minces pour une large gamme d'applications. L'unité utilise une alimentation en courant continu et fournit du courant continu (courant continu) avec des réglages de tension et de courant réglables pour des débits de dépôt optimaux. Cette machine supporte à la fois la pulvérisation simple et la pulvérisation double face à l'aide de deux sources de pulvérisation magnétron situées sur les parties inférieure et supérieure de l'outil afin de revêtir à la fois le haut et le bas du substrat. Le substrat est maintenu en place par des pinces électrostatiques pour un placement précis et un dépôt uniforme. Il dispose également d'une tourelle automatique qui permet un accès facile pour un changement de substrat facile sans interrompre le processus de pulvérisation. L'actif offre de multiples options de contrôle de processus et de recette telles que la polarisation du substrat, la puissance fixe et les fonctions de rétroaction du courant et de la tension pour un contrôle précis de la structure et de l'épaisseur du film. Il a une large gamme de réglages de gaz de pulvérisation qui supportent divers types de dépôts tels que les oxydes, les nitrures, les métaux et les diélectriques. Il offre également des caractéristiques de sécurité supplémentaires telles qu'un modèle d'entretoise intégré, une unité de contrôle de pression et une fermeture d'urgence. Le VCE.PVDI C-2 peut accepter des substrats d'une taille allant jusqu'à 150 mm et convient à une basse pression pouvant atteindre 70 mTorr. La chambre à vide personnalisée est conçue pour fournir des conditions de dépôt supérieures, et peut atteindre une pression de 1 × 10-6 torr après un seul cycle de pompe. Enfin, les refroidisseurs efficaces de l'équipement permettent un refroidissement efficace de la chambre de dépôt et des sources. Dans l'ensemble, VEECO INSTRUMENTS VCE.PVDI C-2 est un système de pulvérisation cathodique fiable et économique conçu pour permettre le revêtement de substrats avec des couches minces pour une large gamme d'applications. Il offre des options de contrôle avancées et des réglages de processus, ainsi que des capacités de pression et de vide exceptionnelles, ce qui en fait un choix idéal pour le revêtement de petits substrats à haut débit.