Occasion VEECO Spector HBDG #9236498 à vendre en France

VEECO Spector HBDG est un équipement de pulvérisation de pointe qui se compose de quatre modules différents. C'est un système de pulvérisation à haute performance conçu pour créer des nanomatériaux et des dispositifs à faible défaut. Les quatre modules de Spector HBDG se combinent pour offrir des performances de gravure supérieures pour s'adapter à un large éventail de matériaux et de processus. Le cœur de VEECO Spector HBDG est le module haute densité, haut débit (HD/HT), qui est capable à la fois de co-pulvérisation et de fraisage ionique. Ce module contient deux chambres de pulvérisation à double aimant, deux alimentations rapides et une seule source d'ions à double faisceau, permettant de pulvériser jusqu'à 100 couches en une seule fois. Le module HD/HT permet également la pulvérisation séquentielle, qui peut être utilisée pour déposer des structures multicouches complexes dans un processus unique et efficace. Le deuxième module est le module de spectre à faible vide (LV/SP), qui utilise une chambre de pulvérisation à double magnétron à vide. Ce module est optimisé pour la pulvérisation à très fine couche et est particulièrement utile pour la pulvérisation de films spéciaux tels que les oxydes d'hafnium et les nitrures de tantale. Le module LV/SP dispose également d'une fenêtre optique améliorée, qui permet un meilleur débit et une meilleure précision de pulvérisation. Le troisième module est le module Low Stress Sputtering (LSST). Ce module est conçu pour le dépôt de couches à faible contrainte et haute résistance à l'abrasion. Le module LSST à haute énergie utilise une unité cible unique à double empilement afin d'augmenter le flux d'ions total et de réduire la contamination de la surface des particules. Le quatrième et dernier module est le module de recuit thermique rapide (RTA). Ce module est capable de traitement thermique et de pulvérisation simultanés, fournissant un procédé deux en un qui raccourcit considérablement le temps total de traitement. Le module RTA utilise des générateurs haute fréquence pour atteindre des températures élevées en peu de temps, et sa conception brevetée en triple anode assure l'uniformité et l'adhérence des couches. En résumé, Spector HBDG est une machine de pulvérisation avancée et précise qui utilise quatre modules uniques pour permettre la fabrication efficace de nanomatériaux et d'appareils à faible défaut. L'outil est capable de traitement multicouche, de pulvérisation à faible contrainte et de recuit thermique rapide pour améliorer les propriétés des matériaux et réduire les temps de traitement.