Occasion VON ARDENNE CS 850S #9167930 à vendre en France
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ID: 9167930
Style Vintage: 2002
Sputtering system
(1) Metal installation ARDENNE:
Control cabinet
(1) HL-Sputteranlage ARDENNE CS850S
2002 vintage.
VON ARDENNE CS 850S est un équipement de pulvérisation conçu pour le dépôt de couches minces de moyenne à grande surface. Ce système est conçu pour revêtir les substrats d'une couche uniforme et cohérente de revêtements métalliques, diélectriques ou céramiques et fournit aux utilisateurs une variété de procédés de pulvérisation qui sont adaptés à leur application spécifique. CS 850S est construit en aluminium anodisé et en acier, avec tous les composants logés à l'intérieur d'une chambre à vide en acier inoxydable sous pression. La chambre a 12 « de diamètre et 18,5 » de longueur, et peut être brièvement évacuée à 150 mTorr. Sur le dessus de la chambre se trouve la cathode d'évaporation/pulvérisation, qui a un diamètre de 9 po et une profondeur de 3,5 po, et est conçue pour maintenir jusqu'à 6 substrats circulaires pour le revêtement simultané. Sur la partie inférieure de la chambre est une source de pulvérisation magnétron qui prend 4,5 « x 4,5 » de l'espace, et fournit un environnement de pulvérisation énergétique pour des taux de dépôt idéaux et la qualité du film. VON ARDENNE CS 850S dispose d'un contrôleur primaire avec écran tactile intégré pour la surveillance et le réglage des processus. Il est équipé d'une unité de chauffage RF qui permet des températures allant jusqu'à 500 ° C Les paramètres du procédé tels que la vitesse de dépôt, l'épaisseur du dépôt, l'uniformité et la rugosité peuvent être modifiés sur le contrôleur. En outre, la machine est capable de contrôler la vitesse de dépôt jusqu'à 1 μ m/min et un mode continu peut être utilisé pour le dépôt modélisé. L'outil est également fourni avec un contrôleur de température de substrat, un atout pour traiter jusqu'à 6 substrats, et plusieurs logiciels pour le fonctionnement et la gestion. CS 850S est conçu pour être convivial et peut être utilisé par des scientifiques et des ingénieurs de diverses disciplines pour déposer rapidement et systématiquement des couches minces uniformes et de qualité.
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