Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS CMP Head for Mirra Mesa #293655977 à vendre en France

AMAT / APPLIED MATERIALS CMP Head for Mirra Mesa
ID: 293655977
AMAT/APPLIED MATERIALS CMP Head for Mirra Mesa est l'équipement de broyage, de nappage et de polissage idéal pour la fabrication de composants et de dispositifs semi-conducteurs. Il est capable de traiter une grande variété de substrats, y compris, sans s'y limiter, du Si, du Ge, du III-V et des PCB. Il fournit une solution complète et à guichet unique pour les processus CMP traditionnels et avancés. La tête se compose de huit têtes de broyage différentes avec des paramètres de processus indépendants et huit modules de processus, offrant à l'utilisateur une flexibilité exceptionnelle dans le broyage, le nappage et le polissage des plaquettes. Les broches multi-axes de haute précision de la plate-forme offrent une vitesse de rotation de 500 tr/min, qui peut être réglée au besoin pour assurer un effet de polissage constant et répétable. Sa conception à haut couple et longue broche de cycle de travail fournit une base stable pour les processus de broyage et de polissage micro-texturés, permettant à l'utilisateur de faire des surfaces planes et inégales. La tête est également équipée d'un système de refroidissement de la broche qui aide à réduire l'usure de la broche, permettant des temps de déroulement prolongés. AMAT CMP Head dispose d'une technique d'agitate-to-grind (ITG) et d'une capacité de broyage régionale, permettant d'augmenter le débit de la plaquette et d'améliorer la qualité de surface. Il offre également une option de processus simple et double port amovible et une option de réglage auto-largeur. L'option à double port permet de superposer des matériaux différents sur un même substrat, ce qui le rend adapté à la production de dispositifs multicouches. AMAT CMP Head for Mirra Mesa est équipé d'une interface spécialisée PLC et HMI, fournissant une interface utilisateur graphique et une opération de contrôle manuel ainsi que des options pour la fonctionnalité de codage et la surveillance des processus en temps réel. Il permet aux utilisateurs de gagner du temps dans la configuration de l'outil et le processus réel car il est en mesure de stocker jusqu'à 50 recettes recirculées, réduisant le besoin de recharger les paramètres paramétriques entre les cycles. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La tête CMP pour Mirra Mesa offre également une gamme de caractéristiques de sécurité. Il offre un interrupteur de sécurité à inversion de puissance, des rideaux lumineux et des tapis de sécurité pour assurer la sécurité des opérateurs. En outre, l'unité offre une gamme de fonctions de surveillance, telles que la caméra de vision, la détection automatique de film, et die-eye, pour assurer le contrôle de la qualité de chaque plaquette polie. En outre, la machine offre une gamme d'options et de mises à jour, y compris une fonction de contrôle de puissance adaptatif (APC) et l'identification automatique des plaquettes pour un suivi facile des plaquettes. L'outil peut également être intégré avec d'autres modules APPLIED MATERIALS, tels que Hazimark, ou d'autres systèmes fournis ou tiers, pour un processus de fabrication de plaquettes entièrement automatisé et sans faille.
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