Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Mesa #9295107 à vendre en France
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ID: 9295107
Taille de la plaquette: 8"
CMP Cleaner, 8"
Main power box, 12"
Lower electronic:
Mega
System
(2) Brushes
SRD
Mega LDM
Brush module:
Brush bath
Brush OP / Cis Cylinder
Sensor type
Motors
Brush LDM Direct type:
Valves
LDM Box and slide
SRD Module:
SRD Bath
Motor
Megasonic generator
Mega heater
Fan filter unit
Walking beam
Cover door pin and Interlock switch
Other sensors:
Wafer present sensor
Level sensor
Leak sensor
OP Sensor
CLS Sensor
Air fitting:
Lower electronic air tubing assy fitting
Check air fitting
Cables:
Walking beam lower electric cable
Brush lower electric cable
SRD Lower electric cable.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'équipement Mesa est un système de broyage, de nappage et de polissage des plaquettes. Il offre une grande précision, une manipulation à haut débit des opérations de broyage, de rodage et de polissage des plaquettes et fournit le plus haut niveau de précision et de répétabilité. L'unité est configurable pour effectuer plusieurs opérations de broyage, de nappage, de polissage et de post-gravure en un seul passage. La machine AMAT Mesa utilise une table de gimbalage magnétique multi-étages sur un cadre en aluminium de précision. Cela garantit que chaque table est calibrée avec précision, ce qui permet un processus de broyage, de rodage et de polissage cohérent et fiable. L'outil a un profil bas qui permet une utilisation maximale de la table pour gérer une large gamme de tailles de plaquettes. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Mesa actif dispose également de contrôleurs faciles à utiliser qui permettent de régler avec précision les paramètres de broyage, de rodage et de polissage. Le modèle Mesa présente également de nombreuses caractéristiques de sécurité pour améliorer la sécurité des opérateurs. Ces caractéristiques comprennent une caméra vidéo standard pour la surveillance de l'opérateur, une vision du signal afin que l'opérateur puisse surveiller le processus à partir d'un endroit hors site et une alerte de signal si une condition dangereuse est détectée. Cet équipement a également la capacité de limiter la vitesse de la table, ainsi que de limiter le transfert de couple lorsque les opérations de nappage et de polissage sont en cours. Cela garantit que le matériel est manipulé en toute sécurité et en toute sécurité. AMAT/APPLIED MATERIALS Le système Mesa fonctionne sur des logiciels spécialisés connus sous le nom de Z-CT063 qui permettent de prérégler les paramètres de fonctionnement et de réaliser des recettes personnalisées de paramètres. Cela garantit que chaque opération est effectuée de façon cohérente et précise. D'autres fonctionnalités avancées disponibles sur l'unité AMAT Mesa concernent la surveillance des processus, y compris la capacité de nettoyage inverse qui aide à réduire la quantité de nettoyage qui doit être faite dans le cadre du processus. Dans l'ensemble, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Mesa est une solution idéale pour les opérations de broyage, de nappage et de polissage des plaquettes. Sa conception moderne, ses contrôles faciles à utiliser et ses nombreuses caractéristiques de sécurité en font un choix supérieur pour les industries semi-conductrices et photovoltaïques.
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