Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra 3400 #9181998 à vendre en France
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Vendu
ID: 9181998
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
Polisher, 8"
Cassette que: (4) Wets
Handling: Wet in / Wet out
(3) Platens
(4) Polish heads
Slurry delivery: Peristaltic pump
Slurry configuration: A, AB, C
ISRM P1: Full scan
ISRM P2: Full scan
ISRM P4: Full scan
UPA: IT/RR/MEM/EC
UPA Supply: Nitrogen gas
Head types: Profiler (Titan II option) / Titan I/W+
Head ring material: PPS
Pad conditioner: DDF3
Min/Max platen speed: 0 - 125rpm
Min/Max head rotation: 0 - 125rpm
Head sweep range: 4.2 - 5.8
PC Sweep range: 1.7-9.0
Min/Max PC rotation: 0 - 125rpm
Min/Max slurry flow: 50 - 240ml/mn
Min/Max head pressure: 0.5-14psi
Min/Max PC downforce: 3.0-17lbf
Endpoint software: IS11e9
Polisher software: PS50g0
Hard drive configuration: NT4.0/68 pin SCSI
1997 vintage.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Mirra 3400 est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes qui est utilisé pour la préparation de surface et la finition de substrats semi-conducteurs. AMAT Mirra 3400 est conçu pour fournir un fonctionnement manuel et automatisé, ainsi qu'une variété d'opérations de broyage, de nappage et de polissage sur une seule plate-forme. Le système peut traiter plusieurs tailles de substrat, de 150mm à 450mm. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Mirra 3400 propose quatre opérations de rectification distinctes, permettant à l'utilisateur de passer d'une rectification de surface à une rectification de bord avec un temps de réglage minimal et une variété d'opérations de polissage incluant un seul côté ou un polissage de plongée pour les surfaces les plus paires. L'unité est capable de broyer des substrats non circulaires, d'éliminer les contraintes et de permettre un traitement plus précis. Mirra 3400 est également capable d'automatiser la préparation et le polissage des surfaces. La machine est équipée d'un outil d'alimentation programmable entièrement automatisé et d'un polissage linéaire automatisé, permettant à l'utilisateur de contrôler l'ensemble du processus du début à la fin. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Le logiciel avancé Mirra 3400 permet également d'affiner les paramètres, ce qui élimine la nécessité d'un étalonnage manuel fastidieux. AMAT Mirra 3400 a un design modulaire, permettant des mises à niveau faciles et la flexibilité. L'actif peut être reconfiguré rapidement pour permettre l'utilisation de multiples composants de broyage, de rodage et de polissage, y compris les plaquettes hybrides diamant et diamant, les inondations et les éclaboussures, ainsi que les distributeurs de tensioactifs. Pour plus d'informations, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Mirra 3400 comprend une base de données complète des cycles et paramètres de broyage et de polissage. Enfin, le Mirra 3400 est certifié sécurité, avec une protection ESD et une enceinte de sécurité permettant un fonctionnement sûr et sécurisé. Le modèle offre également une protection de l'environnement, avec un équipement de réduction de la poussière, une filtration du fluide contenu, et l'arrêt automatique des processus de broyage et de polissage en cas de circonstances imprévues.
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