Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra 3400 #9411057 à vendre en France
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Vendu
ID: 9411057
Style Vintage: 2001
CMP System
Wet robot
Wet queue tank: Q-Tank with lift
System skins: Clear skins
Load cup: Full contact HCLU
Performance enhancement:
Pad conditioner head 1-3 with screw type DDF3
Factory interface:
Platen 1 ISRM: Legacy
Platen 2 ISRM: Legacy
Platen 3 ISRM: Legacy
SECS GEM Interface
Polisher:
No polishing head 1-4
Upper Pneumatics Assembly (UPA): Profiler
No UPA relocation
Pad wafer loss sensor: Dual sensor
No platen temperature control and cable
No upper platen coating
Grease platen gear assembly
Slurry delivery: Peristaltic pump
Standard slurry flow rate
Slurry dispense arm:
4-Line slurry arm
High pressure rinse
DI Water
Slurry tube
Facilities operations:
EMO guard ring
No EMO IO
System user and labels: English
No LOTO Box
Smoke detector
Polisher slurry leak sensor
Electrical requirements:
Line frequency: 50 HZ
Line voltage: 200/208 VAC
Power lamp: Green lamp
No power connected lamp
Circuit breaker: 200 A
Controller top panel: Holes punched out for AC Power cables entry
No configurable IO
GFI Type: 30 mA
No isolation transformer
Umbilical's:
CAT Track style: Cascading
Polisher to controller cable
Controller to monitor cable: 50 feet
Factory hookup:
Upper exhaust
Upper exhaust material: Stainless steel
Lower exhaust
Process exhaust: Vent interlock sensor
No flange upper exhaust connection
Drain manifold: 1 Line
Operator interface:
No Hard Disk Drive (HDD)
Memory: 128M
PIII CPU
Operating system: Windows NT
Polisher light tower:
Pole mounted type
Polisher tower: (3) Colors
Lamp type: Incandescent
Colors sequence: RYG
Controller light tower:
Pole mounted type
(3) Colors
Lamp type: Incandescent
Color sequence: RYG
2001 vintage.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Mirra 3400 est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes, spécialement conçu pour l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Le système utilise une unité de polissage multi-étages, qui comprend un porte-plaquettes horizontal rotatif et des meules diamantées. La machine est capable de produire des finitions de surface de très haute qualité, avec des surfaces lisses et des valeurs de micro-rugosité faibles. Les principaux composants de l'AMAT Mirra 3400 sont l'ordinateur central, l'unité de transfert et l'outil intégré de contrôle des processus. L'ordinateur central est équipé d'un moteur de 10 chevaux, avec des vitesses réglables allant jusqu'à 2000 tr/min. L'unité de transfert comprend deux servomoteurs, permettant une manutention automatique de la plaquette et de ses substrats associés. Ceci permet d'assurer précision et précision lors de l'usinage ou du polissage de la plaquette. L'actif de contrôle de processus intégré est capable de contrôler le processus de broyage, de rodage et de polissage, ainsi que de stocker les paramètres et les recettes pour chaque type de plaquette. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Mirra 3400 peut accueillir une variété de dimensions et d'épaisseurs de plaquettes, de 1 pouce à 8 pouces. Le modèle a également des caractéristiques de sécurité intégrées pour protéger l'intégrité des plaquettes. La plaquette est broyée/nappée par étapes, de grossière à fine selon les exigences de finition de surface de la plaquette. Une fois le broyage terminé, la plaquette est ensuite polie par une solution de polissage, et terminée par un composé fin de nappage ou de polissage. L'équipement est capable d'atteindre des tolérances très serrées et des valeurs de rugosité de surface, dans la gamme de 1-2 µm, le rendant adapté à la production de plaquettes de haute qualité. Le système utilise également la technologie du vide automatisé pour aider à réduire la contamination, ce qui entraîne des rendements plus élevés. Globalement, Mirra 3400 est une unité robuste et fiable qui offre des capacités d'enregistrement des données et de post-traitement pour assurer la qualité du produit fini. La machine est capable de produire des résultats très lisses avec des tolérances serrées, ce qui en fait le choix idéal pour l'industrie des semi-conducteurs.
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