Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra 3400 #9411057 à vendre en France

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ID: 9411057
Style Vintage: 2001
CMP System Wet robot Wet queue tank: Q-Tank with lift System skins: Clear skins Load cup: Full contact HCLU Performance enhancement: Pad conditioner head 1-3 with screw type DDF3 Factory interface: Platen 1 ISRM: Legacy Platen 2 ISRM: Legacy Platen 3 ISRM: Legacy SECS GEM Interface Polisher: No polishing head 1-4 Upper Pneumatics Assembly (UPA): Profiler No UPA relocation Pad wafer loss sensor: Dual sensor No platen temperature control and cable No upper platen coating Grease platen gear assembly Slurry delivery: Peristaltic pump Standard slurry flow rate Slurry dispense arm: 4-Line slurry arm High pressure rinse DI Water Slurry tube Facilities operations: EMO guard ring No EMO IO System user and labels: English No LOTO Box Smoke detector Polisher slurry leak sensor Electrical requirements: Line frequency: 50 HZ Line voltage: 200/208 VAC Power lamp: Green lamp No power connected lamp Circuit breaker: 200 A Controller top panel: Holes punched out for AC Power cables entry No configurable IO GFI Type: 30 mA No isolation transformer Umbilical's: CAT Track style: Cascading Polisher to controller cable Controller to monitor cable: 50 feet Factory hookup: Upper exhaust Upper exhaust material: Stainless steel Lower exhaust Process exhaust: Vent interlock sensor No flange upper exhaust connection Drain manifold: 1 Line Operator interface: No Hard Disk Drive (HDD) Memory: 128M PIII CPU Operating system: Windows NT Polisher light tower: Pole mounted type Polisher tower: (3) Colors Lamp type: Incandescent Colors sequence: RYG Controller light tower: Pole mounted type (3) Colors Lamp type: Incandescent Color sequence: RYG 2001 vintage.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Mirra 3400 est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes, spécialement conçu pour l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Le système utilise une unité de polissage multi-étages, qui comprend un porte-plaquettes horizontal rotatif et des meules diamantées. La machine est capable de produire des finitions de surface de très haute qualité, avec des surfaces lisses et des valeurs de micro-rugosité faibles. Les principaux composants de l'AMAT Mirra 3400 sont l'ordinateur central, l'unité de transfert et l'outil intégré de contrôle des processus. L'ordinateur central est équipé d'un moteur de 10 chevaux, avec des vitesses réglables allant jusqu'à 2000 tr/min. L'unité de transfert comprend deux servomoteurs, permettant une manutention automatique de la plaquette et de ses substrats associés. Ceci permet d'assurer précision et précision lors de l'usinage ou du polissage de la plaquette. L'actif de contrôle de processus intégré est capable de contrôler le processus de broyage, de rodage et de polissage, ainsi que de stocker les paramètres et les recettes pour chaque type de plaquette. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Mirra 3400 peut accueillir une variété de dimensions et d'épaisseurs de plaquettes, de 1 pouce à 8 pouces. Le modèle a également des caractéristiques de sécurité intégrées pour protéger l'intégrité des plaquettes. La plaquette est broyée/nappée par étapes, de grossière à fine selon les exigences de finition de surface de la plaquette. Une fois le broyage terminé, la plaquette est ensuite polie par une solution de polissage, et terminée par un composé fin de nappage ou de polissage. L'équipement est capable d'atteindre des tolérances très serrées et des valeurs de rugosité de surface, dans la gamme de 1-2 µm, le rendant adapté à la production de plaquettes de haute qualité. Le système utilise également la technologie du vide automatisé pour aider à réduire la contamination, ce qui entraîne des rendements plus élevés. Globalement, Mirra 3400 est une unité robuste et fiable qui offre des capacités d'enregistrement des données et de post-traitement pour assurer la qualité du produit fini. La machine est capable de produire des résultats très lisses avec des tolérances serrées, ce qui en fait le choix idéal pour l'industrie des semi-conducteurs.
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