Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Integra #9265796 à vendre en France
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ID: 9265796
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1998
System, 6"
Box 1:
Type: Through-the-wall
(4) SMIFs
CPU Board type: 400 MHz or Higher
Box 2: Mirra Track
Box 3: Oxide
Box 4: Dry in / Dry out
Box 5:
Signal lamp tower
No Bolt-on SMIF
No integrated SMIF
Box 6:
Cassette tank: Standard
Robot type: 112" Stand alone
Cleaner type: ONTRAK
Spray gun: Single
No In-situ removal rate monitor
No IPM
Box 7:
Polish heads: Titan 1
Rings: AFP
Wafer loss sensor: Dual sensor
Box 8:
Teflon coated platens
Pad type: IC 1000
Pad conditioner head: DDF3
Pad conditioner disc: TBW
Universal disk holder
Temperature control: None
Box 9:
Slurry / Platen used
Flow rate: Standard
Dispense arm: Standard
No slurry flow monitors
Box 10:
Nova type: Wet out
No interface monitor
No notch finder
Box 11:
Membrane type: FPDM
4-Port UPA upper
Box 12:
Polish heads: 6" Titan
Grooved retaining rings
Dark pad wafer loss sensor
Box 13:
Pad type: IC 1000
Pad conditioner disc: ABT
Universal disc holder
Box 14:
MESA Cleaner type
On-board mixing
Chemical A: Ammonia Hydroxide
Pressurized delivery type
Precision spray bar
CLC Brush box with on-board mixing
Scrubber 1 and 2:
Brush type: Rippey microclean
Delivery type: Direct feed
Manuals and cables included
Power supply: 208 V, 3 Phase
1998 vintage.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Mirra Integra est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes conçu pour l'usinage à haute efficacité de matériaux fragiles avec une large gamme de milieux abrasifs. Ce système est utilisé pour diverses applications, y compris la production de dispositifs semi-conducteurs et MEMS. L'unité est composée d'une unité de base, qui abrite les meules et les plaques de rodage, et d'une unité de commande qui permet à l'utilisateur de contrôler l'équipement de broyage et d'ajuster les paramètres pour répondre aux résultats souhaités. AMAT Mirra Integra a une construction robuste avec un châssis en aluminium, des plaques de travail en acier inoxydable et des composants céramiques. Les rectifieuses utilisées dans les matériaux appliqués Mirra Integra ont un haut degré de précision et de précision. Les meules sont conçues pour fournir des résultats cohérents sur toute la surface du matériau. Le milieu de broyage est optimisé pour réduire l'abrasion des plaques et minimiser les dommages aux pièces. De plus, le milieu de broyage est également capable de recevoir des substrats disparates en surface. Les plaques de couchage de Mirra Integra sont conçues pour fournir une surface de broyage uniforme, qui répartit uniformément la contrainte sur la surface de travail. Cela permet de réduire la contrainte sur la pièce, ce qui réduit la rugosité de la surface et améliore la durée de vie des pièces. Les plaques de rodage sont équipées de deux pinces réglables qui permettent leur réglage en fonction des exigences spécifiques d'application. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Le procédé de polissage de Mirra Integra utilise une combinaison de méthodes chimiques et mécaniques pour obtenir un résultat poli de haute qualité. Le milieu de polissage utilisé est conçu pour permettre une procédure de finition contrôlée et cohérente, aboutissant à des résultats très précis. La machine de contrôle automatisé de processus d'AMAT Mirra Integra permet à l'utilisateur d'ajuster les paramètres de l'équipement de broyage pour garantir des résultats optimaux. Le contrôleur fournit également une rétroaction sur la rugosité de la surface de la pièce et peut déclencher une alarme lorsque les seuils prédéterminés sont dépassés. Dans l'ensemble, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Mirra Integra est un outil de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes exceptionnellement avancé et fiable qui peut être utilisé pour obtenir des résultats de haute précision en une fraction du temps.
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