Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #293627305 à vendre en France
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ID: 293627305
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2001
CMP System, 12"
Copper processing system
(4) Two line peristaltic pumps
(2) Slurry arm left arms
No polishing heads
Wet robot:
Wafer handler
Eject vacuum
Missing parts:
Controller boards
(4) UPA Zone
UPA Rotary union
HCLU
Upper and lower platens
Mega brush
Mega generator and chemical vessels
Brush:
Pressurised vessels
(4) Vessels
Qty / Part number / Description
(1) / - / Megasonic RF Generator
(4) / - / Cleaner mega, brush1 and 2 chemical vessels
(4) / 0010-03697ER / Head sweep motors
(1) / 0010-37905 / i-Scan Endpoint
(2) / 0010-77428 / Assy, teflon coated upper platens
(2) / 0020-77924 / Bearing retainers
(4) / 0020-79068 / AMAT Brackets
(4) / 0021-77866 / Clamp drive spindles
(4) / 0021-77867 / Plate adapter motor spindle flex clamp kits
(1) / 0021-78095 / Manifold-II series valve, UPA Assy
(1) / 0021-78097 / Manifold-I valve, UPA Manifold assy
(1) / 0040-77085 / Lower platen
(4) / 0040-77461 / Spindle assys
(4) / 0090-06473 / Assy, wafer loss sensors
(4) / 0090-07553 / Assy, wafer loss sensors
(4) / 0090-77262 / UC Pressure tranducerassys
(4) / 0090-77263 / IC Pressure transducers -14.7 to 10
(4) / 0090-77297 / PP Pressure transducers -14.7 to 10
(4) / 0090-77298 / RR Pressure transducers -14.7 to 15
(4) / 0100-77043 / Dual slip out sensor boards
(4) / 0140-77491 / Cables, ER-44
(4) / 0140-77492 / Cables, ER-46
(4) / 0140-78202 / Cables, head pneumatic ER-45, UC
(4) / 0140-78203 / Cables, head pneumatic JD-SV43, SV45
(4) / 0140-78204 / Cables, head pneumaticjd SV43, SV43, SV45
(4) / 0140-78205 / Cables, head IC/IT JB-SV-46,47, SV43, SV45
(4) / 0140-78258 / Cables, head pneumatic EC/PP JA-SV-42, SV44
(4) / 0140-78261 / Cables, head pneumatic ER-42, EC/PP
(1) / 0140-03497 / Cables, platen 2 encoder
(4) / 0190-77116 / Flexible disks
(2) / 0240-77490 / Platen motors
(4) / 0760-01037 / CPLG Union rotary 4-port
(3) / 3870-02365 / Valve modules 8-PNEU
(1) / 3870-02366 / Valve module 8-PNEU
(1) / 0010-77157 / Load cup
(4) / 0190-14344R / Head rotation motors
(4) / 0190-14344 / NSK Driver, mega torque, with motor
(2) / 0190-14502 / MEI Motion control boards
(6) / 0190-14372 / DRVR Servopacks AC SGD, Power supply: 200 V, 100 W
(1) / 0190-19549 / Card P-M 1.6GHZ 512MB RAM VME Bus single
(1) / 0190-42525 / Network port server, EL160 (16) Channels, with PWRSP Power supply: 100-250 V AC, 50/60 Hz
(1) / 0100-01793 / PCB Assy, i/o interface board with COM
(3) / 0140-04819 / Cable bulkhead platenisrms
(1) / 0140-75170 / AMAT Head ROT 3 and 4 MP3-DVR 4 and 5
(1) / 0650-01088 / Transmitter
(2) / 0870-01013 / VEXTA Head Sweep drivers, 5-Phase
(4) / 1080-01166 / VEXTA Robot Z-W-S stepping motors, 2-Phase
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa Equipment est un système de broyage, nappage et polissage de plaquettes conçu pour offrir des surfaces de plaquettes de haute qualité avec une précision, une répétabilité et un débit accrus. L'unité est conçue pour améliorer la rugosité et la planéité de la surface tout en minimisant les défauts. Le MA/AT est disponible en configuration manuelle et entièrement automatisée, permettant une flexibilité et une évolutivité en fonction des besoins de l'utilisateur. AKT Mirra Mesa Machine utilise une série d'outils de pression et de broyage ainsi que des processus chimiques et physiques pour obtenir la finition de plaquette souhaitée. L'outil utilise un mouvement à 4 axes, permettant un broyage et un rodage simultanés de toute la surface de la plaquette, ce qui augmente la vitesse et l'efficacité et minimise le coût. Le MA/AT utilise également de l'air comprimé pour maintenir le matériau abrasif conditionné et éliminer les particules indésirables. AMAT Mirra Mesa Asset intègre des techniques de métrologie des particules pour améliorer le processus, en assurant des résultats optimaux et la cohérence. Ces techniques mesurent les paramètres des particules, y compris la taille, la forme, la dureté et l'angle de contact du matériau abrasif. En mesurant ces mesures, le MA/AT peut ajuster le processus en conséquence, assurant la meilleure qualité de finition et de plaquette. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le modèle Mirra Mesa est basé sur une plateforme modulaire qui peut être personnalisée pour répondre aux besoins de l'utilisateur. L'équipement peut également être configuré pour différentes tailles et épaisseurs de plaquettes. Le système est facile à installer et est conçu pour un entretien facile, permettant d'augmenter les temps de disponibilité et de réduire les temps d'arrêt pendant le fonctionnement. Mirra Mesa Unit offre également un environnement de travail sans poussière, éliminant le besoin d'une salle blanche coûteuse. Dans l'ensemble, AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa Machine est un outil de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes très fiable qui permet d'augmenter la vitesse, l'automatisation et la précision qui produit des plaquettes de qualité supérieure. Avec ses techniques avancées de métrologie des particules, sa plate-forme modulaire et sa facilité de maintenance, il est une solution idéale pour un large éventail d'applications de traitement des plaquettes.
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