Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9075137 à vendre en France

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ID: 9075137
CMP system Oxide De-installed 2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa wafer meulage, nappage et polissage est un système multifonctionnel avec un diamètre maximum de plaquettes de 200mm et une épaisseur maximale de plaquettes de 6,5mm. Cette unité automatisée est idéale pour les applications nécessitant des performances et une précision élevées tout en minimisant la production de déchets. La machine comprend un seul support de substrat avec une roue motrice réglable qui aide à contrôler la vitesse de rotation de la plaquette. Le support du substrat est supporté par un étage de mouvement linéaire qui permet un positionnement tridimensionnel précis du substrat dans le processus de broyage, de nappage et de polissage. En outre, l'outil est équipé d'un extracteur qui aide à maintenir la propreté de la chambre de traitement tout en retirant le matériau broyant loin de la plaquette. L'actif est capable de broyer, napper et polir des plaquettes plates et de rayon avec une plage de vitesse allant jusqu'à 35 000 tr/min. Le rotor dynamique avancé utilise la force centrifuge pour appliquer la force de broyage appropriée sur les milieux abrasifs tout au long du cycle de broyage, assurant un retrait uniforme du matériau de la surface du substrat. Le modèle offre également deux têtes de polissage qui peuvent être utilisées pour des applications spécialisées. La première tête est conçue pour le polissage général et intègre un équipement de nettoyage à jet d'air qui peut être utilisé jusqu'à une vitesse maximale de 10.000 tr/min. La deuxième tête est un polisseur haute résolution pour les finitions plus fines et l'enlèvement du matériau plus fin. Le système offre également des capacités avancées de surveillance des processus qui fournissent des informations en temps réel telles que le temps de processus, la force de broyage et la taille des particules abrasives. Cela permet d'éliminer les déchets et d'assurer un résultat de haute qualité. En outre, les fonctionnalités d'automatisation avancées de l'unité permettent des processus semi-automatisés qui réduisent la participation des opérateurs et assurent un meilleur contrôle des processus. Dans l'ensemble, la machine AKT Mirra Mesa est une solution parfaite pour les applications nécessitant précision et fiabilité. Le rotor dynamique de l'outil, les capacités de détection opto-électronique haute résolution et les fonctionnalités d'automatisation avancées contribuent tous à sa haute performance et précision, tandis que ses capacités avancées de surveillance des processus aident à minimiser le gaspillage et à garantir des résultats constants de haute qualité.
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