Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9077553 à vendre en France
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Vendu
ID: 9077553
CMP system, 8"
Cross Assembly:
Absolute Encoder Harmonic Drive
(4) NSK Megatorque spindle assemblies with fuse blowing fix
(4) Vexta 5-phase head sweep motors
(4) Cu Titan polishing heads
(3) Platen system with Alpha low-noise gearboxes, Yaskawa motors w/ NEC compliant cables
(3) AMAT DDF3 pad conditioners
Cu Slurry delivery system
AMAT Copper Rinse / Slurry delivery arms
Leak proof polisher skins
Closed loop monitoring features
Fluid reduction package
Input voltage: 200-240 VAC 50/60 Hz
Integrated Mesa cleaner:
Wafer sense transfer station
Single wafer machined (leak proof) Megasonic tank
Vertical spin rinse dry station
Flow monitoring on all cleaner chemical and DI flows (On/off)
Edge grip automation
Side feed facilities and exhaust
Mesa power supplied by Mirra controller
Line of sight top cover between Mesa and Mirra
Digital ISRM monitor integrated into the polisher (all 3 platens) with:
Full face HW/SW capability and dual optical ISRM / iSCAN ISRM in platen 1
Missing parts.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs de haute précision et le développement de processus. Le système dispose d'une variété d'outils pour la finition précise de la surface de la plaquette et est équipé d'une unité intégrée de contrôle des processus pour la surveillance des processus en temps réel. La machine offre également des fonctionnalités avancées telles que le chargement/déchargement automatisé des plaquettes, le contrôle automatisé des séquences de processus et les tests électriques intégrés. L'outil AKT Mirra Mesa est capable de broyer, tapisser et polir des plaquettes jusqu'à 200mm. Il offre également une variété de recettes de processus, y compris l'électrosynthèse, l'élimination des défauts, la planarisation de surface, le polissage à face simple et double, et plus encore. L'actif est capable de contrôler et de surveiller les paramètres du processus tels que la pression, la vitesse et la température afin d'assurer des résultats précis. Il est équipé d'un modèle de manutention automatisé de plaquettes avec des caractéristiques de sécurité intégrées et une table de plaquettes rotatives automatisées. L'équipement AMAT Mirra Mesa dispose également d'un système de vision de haute précision avec un traitement avancé de l'image, une reconnaissance visuelle assistée des motifs et des outils de métrologie pour une évaluation précise de la surface des plaquettes. Cette unité assure un contrôle complet de la précision et de la répétabilité de l'ensemble du processus. Il est également capable de contrôler la vitesse d'alimentation et la pression du procédé de rinçage. La machine est équipée de logiciels avancés et de dispositifs de sécurité pour assurer la sécurité de l'opérateur et de l'outil pendant l'opération. Il dispose également de fonctions avancées de contrôle et de surveillance des processus, y compris la collecte de données en temps réel. L'actif est conforme à diverses normes de sécurité, telles que CE, UL et CSA. Le modèle est également soutenu par l'engagement d'AKT à fournir aux clients un soutien technique et des services exceptionnels. En résumé, Mirra Mesa est un équipement de broyage, de nappage et de polissage des plaquettes de haute précision conçu pour répondre aux exigences de performance de l'industrie des semi-conducteurs. Il offre une variété d'outils pour la finition précise de la surface, ainsi qu'un système intégré de contrôle des processus et des systèmes de vision avancés. Il est conforme à diverses normes de sécurité et fournit aux clients un soutien technique et des services exceptionnels.
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