Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9104952 à vendre en France
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Vendu
ID: 9104952
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2001
CMP system, 8"
System: Dry in / Dry out
Process: Cu
Software
Polisher MB60a1
Cleaner CB22p2
Endpoint IB11h7
CPU Pentium III 400MHz
Dual RAID HardDisk Yes
HardDisk Size 68GB
RAM 128MB
Hardware
Polisher /with Controller Mirra 3400 / 5200
Cleaner Mesa
Indexer Rorze FABS SMIF
# FOUP Install: (3)
Metrology None
Slurry(P1+P2+P3) ABCD Each
Endpoint Laser P1 iScan
Endpoint Laser P2 FullScan
Endpoint Laser P3 None
Polisher Middle Skins Opaque
Pad Conditioner type Universal
Platen Coating Teflon
UPA Standard
Chiller No
Com Port Server Digi EL160
Cleaner Brush LDM Direct Feed LDM with entegris flow sensors
Walking Beam PEEK Fingers with PP Grippers
Slurry in CLC Yes
Slurry Arm 4line
Polishing Head Titan I
Rotary Union 4-port
Cross type Cattrack
UPA 3 Port
Megasonics yes
SRD Yes
Brush 1 yes
Brush 2 yes
PM reduction kit
blackout covers
Splash guard
Exhaust blower
Magnehelic Pressure Low Level detection kit
SRD Exhaust Interlock
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes de pointe conçu pour produire des performances optimales dans une gamme d'applications de plaquettes. Le système est composé d'un broyeur optique de haute précision qui broie avec précision les pierres de surface inégales. Il dispose d'une unité de commande moteur à deux axes, qui fournit des mouvements de meulage précis et reproductibles. La machine est également équipée d'une machine de durcissement ultra-violette qui fournit un outil de réponse en boucle fermée. Il est conçu pour obtenir rapidement et avec précision des plaquettes sur une surface complètement plane. Une alimentation électrique réglable permet des résultats sur mesure, tandis qu'un actif électronique protégé contre le vide empêche les matériaux étrangers d'entrer dans la zone de travail principale. L'AKT Mirra Mesa assure une excellente finition de surface et précision sur les plaquettes plates et contournées. Il dispose d'une conception de broche spécialisée qui contribue à une finition de surface précise. Le modèle de liquide de refroidissement intégré réduit encore le risque d'endommagement thermique de la plaquette, produisant des résultats de haute qualité. De plus, l'équipement de commande du moteur à deux axes de la machine est conçu pour minimiser les vibrations, ce qui augmente la durée de vie de l'outil. Dans l'ensemble, AMAT Mirra Mesa Wafer Broyage, Lapping, et Polissage System offre précision et performance. Sa technologie avancée de refroidissement garantit une précision constante du produit. L'unité intégrée de protection contre le vide minimise le risque de contamination. L'outil de commande moteur double axe de la machine réduit encore les vibrations et l'usure de l'outil. En conséquence, il produit avec précision des plaquettes planes et contournées avec une finition de surface idéale.
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