Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9203803 à vendre en France
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Vendu
ID: 9203803
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
CMP System, 8"
Wafer shape: Flat
Application information:
Application: Oxide
System: Dry in / Dry out
Device type: D-RAM
Device geometry: 0.09 Microns
Consumed process materials:
Polish slurry: STI
Platen 1 pad: IC1010
Platen 2 pad: IC1010
Platen 3 pad: IC1010
Pad conditioner: Diaphraghm
Pad conditioner head: DDF3
Pad conditioner holder: Standard
Factory interface options:
Cleaner type: MESA (Converted from reflexion)
Megasonics
Robot type: APPLIED MATERIALS
In situ removal rate monitor: Digital
SECS GEM Interface
Cassette tank
Cassette type: SMIF
Installation type: Through the wall
Integrated system basic fabs: Fabs 212
Platen and head options:
Polishing head: (4) TITAN I Heads
(4) Retaining rings
Pad wafer loss sensor
Slurry delivery options:
Slurry delivery: (2) Slurries
Slurry flow rate: STD Flow
Slurry flow monitor
Slurry containment bulkhead: Single containment
Slurry loop line: No
Slurry dispense arm: Extended rinse arm
Slurry leak detector: No
DI Water
High pressure rinse
System safety equipment:
Red turn to release EMO button: STD
EMO Guard ring
System labels: English
Smoke detector
Umbilicals:
Polisher to controller cable: 75FT
Controller to monitor cable: 75FT
Factory hookup upper exhaust: STD
Upper exhaust connection: 8"
Drain manifold: 4 Line to FAC
Drain adapter: NPT Fitting
Castors for mirra system: No
Weight distribution plate (Skid pad)
User interface:
Gray area: Monitor
Clean room: Monitor
Class 1 cart for monitor
Stainless cart
Mouse or trackball: PC Mouse
Hard disk backup: No
Maintenance options:
Spray gun: Singly
Lapping stone: No
Spares:
Heads
Retaining ring
Pad conditioner head
Electrical requirements:
Line frequency: 50/60 HZ
Line voltage: 200 ~ 230V
Uninterruptible power supply: UPS Battery
Delta connection
Power lamp: Green
Power connected lamp: No
Circuit breaker: 200A
AC Outlet box: 100V
Wide type GFI: 50mA
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa est un équipement multi-tâches de broyage de plaquettes, de nappage et de polissage conçu pour broyer, napper et polir des plaquettes semi-conductrices pour la fabrication de dispositifs électroniques et optoélectroniques avancés. Il combine le broyage, le rodage et le polissage en ligne pour une grande variété de matériaux semi-conducteurs en une seule machine, ce qui en fait une solution idéale pour les exigences du processus de post-fabrication. Le système AKT Mirra Mesa intègre une plate-forme de mouvement à quatre axes avec des moteurs et des codeurs d'entraînement à broche de haute précision, conçus pour fournir une grande vitesse et un alignement précis pour les opérations de meulage, de nappage et de polissage. Les capacités de broyage vont de 0,1 micron à quelques centaines de nanomètres, tandis que ses capacités de rodage et de polissage vont de 1 micron jusqu'à seulement quelques nanomètres. L'unité est capable d'obtenir une épaisseur de plaquette uniforme sur toute la surface, supportant ainsi le rendement le plus élevé pour les fabs de plaquettes. Les technologies brevetées de roulement à air de la machine offrent une plate-forme et une surface de travail exceptionnellement stables pour le broyage et le polissage critiques des plaquettes. Il est également conçu avec un outil de contrôle convivial qui permet aux opérateurs de définir et d'ajuster les paramètres pour les processus de broyage, de nappage et de polissage de précision. En outre, l'actif dispose d'un contrôleur logique programmable (PLC) moderne et polyvalent permettant aux utilisateurs de gérer et de contrôler automatiquement les différentes étapes du processus. En termes de qualité de traitement, les technologies de pointe du modèle garantissent la précision et la répétabilité du processus de broyage, de rodage et de polissage, ainsi que des résultats robustes en ce qui concerne la contrainte du film, l'uniformité des contraintes et l'uniformité des dimensions critiques (CD). En outre, l'équipement a la capacité de répondre à un large éventail de besoins de l'utilisateur final car il supporte divers matériaux, de la qualité standard à la qualité exotique. En conclusion, le système AMAT Mirra Mesa de broyage, de nappage et de polissage des plaquettes permet aux fabs d'intégrer le broyage, le rodage et le polissage des plaquettes monoplaces dans leurs processus, leur fournissant ainsi une machine exceptionnellement polyvalente et fiable capable d'obtenir des rendements élevés, des épaisseurs de plaquettes uniformes, des précisions de rodage et de polissage précises, et des résultats de processus robustes.
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