Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9228448 à vendre en France
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Vendu
ID: 9228448
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2004
CMP System, 8"
Process application: Oxide & Poly
EMO Type: Push bottom
Status light tower:
Red
Yellow
Green
FABS Configuration:
Type: SMIF / (3) Ports
Robot blade
Robot
No calibration computer
Fan unit
Floppy disk
Polish module:
Head type: Titan I
HCLU
Single wafer loss sensor
(3) Slurry arms type: Short
No facilities interface panel
Pad conditioner type: Cylinder
(3) Pad conditioners
Remote monitor: Table mount
Wet robot
Wet robot blade
Queue tank
Queue tank cassette
(4) Heads
(4) Rotation units
(4) UPA Sets
(4) Spindles
(4) NSK Rotation motors
(4) Head sweep motors
(4) Head sweep slider assemblies
(4) Head clamps
(3) Platens
(3) Platen motors
(3) Platen gearboxes
MESA Module:
Megasonics delivery type: Pressurized
AP50 Pump
Direct BU1 &BU2 Delivery type
No SRD heater lamp
Upper electronics box
Working beam
Input shuttle type: Half-moon
Chemical configuration:
HF
Slurry flow type: Slurry pump
NH4OH
CE Safety mark: English
CIM Configuration: SECS
Electrical configuration:
Line voltage: 208 V
Full load current: 170 A
Frequency: 50-60 Hz
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa wafer broyage, rodage et polissage est un système automatisé conçu pour le rodage et le polissage de haute précision des plaquettes de silicium. Cette unité a été conçue avec des performances ultra-précises et une variété d'options, y compris la capacité de personnaliser facilement les technologies pour répondre aux besoins uniques de chaque client. Cette machine est conçue pour un niveau élevé de productivité, de fiabilité et d'efficacité. L'outil dispose d'une plaque de polissage de haute précision avec un environnement de recirculation constant. La plaque de précision est faite d'un matériau unique sans rayure conçu pour assurer des résultats de qualité avec des dommages de surface minimes. La plaque de précision est entraînée par un moteur d'entraînement à vitesse réglable, permettant un contrôle exact de la vitesse et de la direction des opérations de nappage et de polissage. AKT Mirra Mesa dispose également d'un interféromètre laser intégré pour la surveillance et le contrôle des vitesses de rodage et de la précision. L'interféromètre laser fournit des données sur la position exacte et les débits des opérations de rodage, ce qui permet au modèle de modifier la vitesse et les paramètres de rodage au besoin pour maintenir les temps de traitement souhaités. L'interface graphique conviviale intégrée permet aux utilisateurs de contrôler et de surveiller facilement l'équipement. Le système intègre également une pompe à jet d'eau de haute précision, permettant des débits d'eau optimaux pour les opérations de nappage et de polissage. La machine à jet d'eau optimisée permet des opérations de rodage plus rapides, plus silencieuses et plus lisses. L'outil est également conçu avec un extracteur de poussière et de particules unique pour éliminer les particules de poussière et d'autres contaminants des plaques de nappe et de polissage. AMAT Mirra Mesa dispose également d'une couverture poussière unique conçue pour protéger l'ensemble de l'emballage contre la poussière et d'autres contaminants. En outre, le modèle est conçu avec un équipement de refroidissement sophistiqué pour refroidir rapidement les plaques et minimiser les problèmes liés à la chaleur. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Mirra Mesa Système de broyage, de couchage et de polissage des plaquettes de silicium est une solution conçue pour couler et polir les plaquettes de silicium avec précision et précision. L'interface graphique conviviale intégrée et une large gamme d'options permettent une préparation simple et efficace des plaquettes. Les technologies avancées de l'unité garantissent la qualité, la fiabilité et la productivité avec des délais d'exécution rapides pour la préparation des plaquettes de silicium.
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