Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9232538 à vendre en France
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Vendu
ID: 9232538
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1999
CMP System, 8"
Technology: CMP STI
Platform type: Mirra Mesa
Wafer shape: Flat
Application information:
Application: Oxide
System: Dry in / Dry out
Device type: D-RAM
Device geometry: 0.09 Microns
Process materials:
Polish slurry: STI
Platen 1, 2 & 3 pad: IC1010
Pad conditioner: Diaphragm
Pad conditioner head: DDF3
Pad conditioner holder
Interface options:
Cleaner type: MESA (Converted from Reflexion)
Megasonics
Robot type: AMAT / APPLIED MATERIALS
In situ removal rate monitor: Digital
SECS GEM Interface
Cassette tank
Cassette type: SMIF Type
Installation type: Through the wall
Integrated system basic FABS: FABS 212
Platen and head options:
Polishing head: (4) TITAN I Heads
(4) Retaining rings
Pad wafer loss sensor
Platen surface: Teflon coated
Slurry delivery options:
Slurry delivery: (2) Slurries by peristaltic pump
Slurry flow rate: STD Flow
Slurry flow monitor
Slurry containment bulkhead: Single containment
No slurry loop line
Slurry dispense arm: Extended rinse arm
No slurry leak detector
DI Water
High pressure rinse
Mirra type
Cleaner type: Mesa (Converted from Reflexion)
Fabs type: SMIF Type
Safety equipment:
Red turn to release EMO button: STD
EMO Guard ring
System labels: English
Smoke detector
Umbilicals:
Polisher to controller cable: 30 Ft
Controller to monitor cable: 30 Ft
Factory hookup:
Standard upper exhaust
Upper exhaust connection: 8"
Drain manifold: 4 Line to Fac
Drain adapter: NPT Fitting
No castors for Mirra system
Weight distribution plate (Skid pad)
User interface:
Gray area: Monitor
Cleanroom: Monitor
Class cart for monitor
No class cart for (2) monitors
No class 100 cart for (2) monitors
Stainless cart
Mouse / Trackball: PC Mouse
No hard disk backup
Polisher / Fabs light tower:
Tower mounting type: (4) Lights
Polisher tower: (4) Colors
UPA Water fall
Inter platen clean type with splash guard
Polisher tower colors sequence: RYGB
Cleaner option: Mesa cleaner
Maintenance options:
Single spray gun
No lapping stone
Special options:
No nylon brush
E-Chain teflon sheet: Water fall
No low pressure release water
Spares parts:
Heads
Retaining ring
(2) Pad conditioner heads
Mesa:
Direct chem type:
Megasonic module
Brush 1
Brush 2
Standard:
SRD
Output station
Electrical requirements:
Line frequency: 50/60 Hz
Line voltage: 200~230V
Delta connection
Power lamp: Green
No power connected lamp
Circuit breaker: 200A
AC Outlet box: 100V
No configurable I/O
Wide type GFI: 50mA
1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa est un équipement de broyage, de couchage et de polissage de plaquettes conçu pour aider les fabricants à répondre à la demande croissante d'appareils performants et peu coûteux. La machine fournit des résultats précis et reproductibles pour diverses applications de finition de surface. La pièce est chargée sur la plate-forme de fabrication avec une roue abrasive pincée, un tampon diamant ou un tampon de polissage, qui sont ensuite filés à des vitesses allant jusqu'à 12 000 tr/min selon l'application. Les broches sont ensuite tirées et pressées à travers la surface de la pièce, en broyant progressivement le matériau de surface. Cette technique permet à l'utilisateur de contrôler la quantité de matière enlevée, assurant une finition de surface uniforme tout au long du processus pour améliorer la cohérence du produit. AKT Mirra Mesa est conçu avec un système de contrôle numérique et comprend une variété de mécanismes de mesure et de rétroaction pour surveiller et ajuster le processus de broyage et de polissage au besoin. L'unité comprend également une machine optique intégrée, qui assure le traitement des pièces selon des paramètres prédéterminés et confirme une finition et une intégrité de surface cohérentes après chaque étape. L'outil dispose d'un atout de filtration intégré qui empêche la poussière et les débris de passer dans les composants internes du modèle, en maintenant une performance optimale et la propreté. En outre, AMAT Mirra Mesa fonctionne à une large gamme de températures et peut être adapté pour tous les types de matériaux de pièce. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Mirra Mesa est une solution idéale pour les fabricants qui recherchent des procédés de haute précision pour la finition de surface. Ses systèmes de contrôle et de surveillance numériques intégrés, les réglages de pression et de température réglables et les systèmes de filtration sans poussière garantissent des résultats cohérents et reproductibles qui sont essentiels pour la production de produits de qualité.
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